Причини за распоредување на лажни наполитанки во процесите на FUR

Термичкиот третман со полупроводници е незаменлив процес во производството на најсовремените полупроводнички чипови, покривајќи ги критичните процедури како што се оксидација на нафора, дифузија, таложење со тенок слој и жарење. Овие процеси наметнуваат исклучително строги барања за униформност на температурата, протокот на гас и чистотата во внатрешноста на цевката на печката. За време на производството, куклата обланда е широко прифатена низ индустријата за да се отстранат недостатоците во процесната средина, прецизно да се контролираат параметрите на процесот и да се гарантира доследна обработка и висок принос на масовно произведени наполитанки.

Кукла наполитанкислужат како основни помошни потрошни материјали кои ги стабилизираат процесите на производство на полупроводници, кои интензивно се користат за дебагирање на опремата, калибрација на процесот, следење на процесот и оптимизација на капацитетот.

Два типа на лажни наполитанки за процеси со цевки во печка

За термичка обработка со КРЗНОцевки на печката, два типа на лажни обланди се мејнстрим во индустријата за да се исполнат различните барања за компензација на процесот:

1. Странични кукла наполитанки

Страничните кукла наполитанки обично се поставуваат на предните и задните краеви на чамецот со нафора за да формираат процесна тампон зона.

2. Екстра кукла наполитанки

Дополнителни кукла наполитанки вообичаено се користат за пополнување празни отвори на чамецот со обланда за да се симулираат услови за производство со полно оптоварување.

Основни функции на лажни наполитанки во процесите на цевки со печки

1. Контрола на униформност на температурата

A. Компензација на топлински капацитет

Цевките на печката за термичка обработка имаат големи комори за реакција. Ако производствените наполитанки за термичка обработка не ги исполнат сите слотови, празните позиции ќе произлезат од нерамномерна дистрибуција на топлина. Ставањето кукла наполитанки во овие празни отвори може да го балансира вкупниот топлински капацитет и да ги стабилизира температурите на процесот.

Б. Ублажување на ефектот на рабовите

Температурата има тенденција да флуктуира на двата краја на цевката на печката. Лажните наполитанки може да се користат за тампонирање на топлинските пречки на рабовите, обезбедувајќи униформно загревање за производствените наполитанки лоцирани на рабовите на бродот.

2. Униформност на полето за проток на процесен гас

Празни отвори ќе ја нарушат циркулацијата на гасот и ќе предизвикаат нерамномерна локална концентрација на гас во цевката на печката. Лажните наполитанки стабилизираат постојан проток на гас, обезбедувајќи идентични услови за хемиска реакција на површината на сите производствени наполитанки за оксидација, дифузија, таложење со тенок слој и други процеси.

3. Контрола на контаминација во комората за процеси

Загадувачи (како што се честички и метални јони) може да бидат присутни на внатрешниот ѕид на новите или одржувани цевки од печката. Лажните наполитанки може да се користат како „жртвен медиум“ за да се апсорбираат овие загадувачи и да се спречи нивното влијание врз приносот на нафората на производот.

4. Контрола на процесот и намалување на трошоците за производство

Лажните наполитанки реплицираат производствени средини со полно оптоварување за да обезбедат високо униформни услови за процесот за сите функционални наполитанки. За време на развојот на новиот процес, сите експериментални испитувања може да се изведат на кукла наполитанки без да се консумираат вредни производствени наполитанки. Загубите на приносот и нестабилните процесни трошоци предизвикани од изоставувањето на кукла наполитанки далеку ги надминуваат трошоците за набавка на самите кукла наполитанки.

Заклучок

Како евтино, високо повратно и суштинско помошно решение за термички процеси на цевки од печка, куклата наполитанки обезбедува четири основни придобивки: компензација на топлинскиот капацитет, стандардизиран проток на гас, адсорпција на загадувачи и симулација на процес со целосно оптоварување. Тие ефикасно ја оптимизираат рамномерноста на температурата и протокот на гас во цевките на печката, ги стабилизираат параметрите на процесот, ги елиминираат различните производствени дефекти и значително ја подобруваат стабилноста, конзистентноста и приносот на производството на нафора. Лажните наполитанки се витална алатка за стандардизирана и рафинирана контрола на масовното производство во индустријата за полупроводници.