За што се користи кварцот во полупроводниците?

Во полето за производство на полупроводници, чекорите од растот на силициумските кристали до дифузијата на оксидација, од офорт до чистење, кварцните структурни компоненти се вклучени во целиот процес. Со развојот на напредните процеси, толеранцијата за контаминација од метални нечистотии и честички станува сè помала на секој чекор.

Насинтеза кварцима бројки како што се висока чистота, без меур, без вклучени честички, висока УВ пропустливост итн. Тоа го прави постепено да ги заменува традиционалните природни кварцни материјали во напредните производни процеси, што може значително да го подобри приносот и да го продолжи животниот век.

01 Прстен за офорт

Под бомбардирање на плазма (која содржи високо реактивни флуор и гасови базирани на хлор), материјалите бараат исклучително висока хемиска инертност и отпорност на корозија. Истовремено, кварцните материјали треба да поседуваат исклучително висока чистота за да се спречи гравирање на контаминација со честички. Прстените за офорт се потрошни компоненти; во моментов, повеќето опрема користи природен кварц. Сепак, некои напредни процеси (2nm, 5nm и други процеси под 28nm) ги заменија со синтетички кварцни прстени за гравирање поради строгата контрола врз честичките и металните јони.

02 Кварцна купола

Транспарентен прозорец за набљудување во облик на купола инсталиран на врвот на комората за реакција во опрема за офорт и таложење на тенок филм (како што е CVD). Не само што му треба исклучително висока чистота за да спречи нечистотии да ја контаминираат процесната комора, туку бара и одредени оптички својства за да се овозможи светлосни сигнали од системот за откривање да поминуваат за следење на процесот во реално време. Синтетичкиот кварц, со својата исклучително висока пропустливост и висока чистота, е широко користен во DOME (Дифузиона оксидација).

03 Печка цевка

Во печките за оксидација/дифузија на висока температура, тој служи како јадро цевчест контејнер кој ја држи нафората и ја спроведува процесната реакција. Потребна е исклучително висока отпорност на топлина, што овозможува долгорочна работа на температури над 1200°C без омекнување или деформација. Природниот кварц, поради неговата висока содржина на Ал и ниската содржина на хидроксил, постигнува висока отпорност на топлина и широко се користи во цевките на печките. Меѓутоа, како што напредните процеси наметнуваат сè построги контроли на јоните на металната нечистотија во комората, синтетичките кварцни материјали со висока отпорност на топлина постепено ги заменуваат цевките од природните кварцни печки.

04 Резервоар за чистење

Се користи за чување раствори за чистење со висока чистота, високо корозивни (како SC1, SC2, флуороводородна киселина, сулфурна киселина итн.) за влажно чистење на наполитанки. Кварцните материјали имаат одлична отпорност на киселинска и алкална корозија: тие можат да се спротивстават на ерозијата на речиси сите силни киселини (освен флуороводородна киселина и топла фосфорна киселина), обезбедувајќи резервоарот да остане некородиран за долготрајна употреба. Меѓутоа, со продолжена употреба, металните јони во резервоарот со кварц постепено се ослободуваат, што лесно предизвикува контаминација. Синтетичкиот кварц од PPB ефикасно ја намалува јонската контаминација од метална нечистотија, а неговата природа без меурчиња го прави посоодветен за обработка на мазни, густи површини, намалувајќи ја адхезијата на загадувачите.

05. Прозорец за лекување со УВ

Инсталиран на опрема за лекување со УВ, служи како прозорец за пренос на УВ светлина. Меѓу сите оптички материјали, синтетичкиот кварц има најголема пропустливост во длабоките ултравиолетови (DUV) до ултравиолетови (УВ) појаси (до 185 nm). Неговата висока јачина и отпорност на зрачење, исто така, гарантираат дека неговите перформанси не се деградираат или обезбојуваат при продолжено УВ зрачење.

06. Напреден носач за пакување

Во напредните процеси на пакување (како што се Fan-Out, 2.5D/3D IC), синтетичките кварцни носачки наполитанки може да се користат како носечки плочи за привремено поддршка, фиксирање, транспортирање и обработка на ултра тенки наполитанки или реконструкција на наполитанки. Синтетичкиот кварцен материјал може да се обработи за да се постигне одлична плошност и цврстина, обезбедувајќи цврста поддршка за ултра тенки чипови и обезбедувајќи точност на процесот.

Semicorex обезбедува висок квалитетприлагодени кварцни компонентиза различна обработка. За приспособени решенија или дополнителни технички информации, ве молиме слободно контактирајте го нашиот инженерски тим.

Телефон: +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com