Семикорекс кварцните цевки за внатрешна печка се врвни кварцни компоненти добро прилагодени за процесите на обработка на полупроводнички нафора како што се дифузија, оксидација, жарење и таложење на LPCVD. Специфично дизајнирани за процеси со висока класа, цевките за внатрешни печки од кварц Semicorex се компатибилни со предизвикувачките процесни средини со високи температури, висок вакуум и корозивни атмосфери. Партнерство со Semicorex за да се добијат идеални кварцни решенија.
Семикорекс кварцните цевки за внатрешни печки најчесто се позиционирани во надворешните цевки на печката во системите на процесните печки и функционираат за да ја изолираат надворешната средина од областа за обработка на нафора, да ја балансираат топлинската дистрибуција во печката и да овозможат стратификувано водење на протокот на гас, како и брза замена на процесниот гас. Конструирани да ги решаваат точките за болка во процесот, како што се нерамномерното допирање на нафора, отстапувањата на таложење на тенок филм и слабата конзистентност на оксидација предизвикана од нерамномерен проток на гас, прекумерни температурни разлики и нарушена атмосфера на печката, цевките на внатрешната печка Semicorex кварц совршено ги задоволуваат строгите барања за процесот на прецизна обработка на нафора.
Семикорекс кварцните цевки од внатрешната печка се прецизно направени одкварц на ниво на полупроводникпреку серија на обработка, вклучувајќи жарење со високи температури за ослободување од стрес, прецизно цртање интегрални цевки, прецизна калибрација на димензиите на цевката, униформно брусење на ѕидовите, пасивација и полирање на крајот на цевката, како и чистење без прашина. Нашите кварцни цевки за внатрешни печки ги имаат следните извонредни карактеристики:
• Прецизни димензии на компонентите
• Тесна контрола на толеранцијата
• Еднаква дебелина на ѕидот
• Мазна и беспрекорна интеграција
• Без меурчиња, бруси и внатрешен стрес
• Конструкција на непречен проток на гас
• Екстремно ниска контаминација со честички
• Флексибилна приспособена опција
Фабрикуван од суровини со ултра висока чистота, Semicorexкварцни цевки за внатрешна печкаиспорача повеќекратни одлични перформанси на имотот што е опишано подолу:
• Ултра висока чистота на материјалот—— избегнување на несакана контаминација со метална нечистотија.
• Супериорна отпорност на висока температура—— целосно исполнување на барањата за процесот на термичка обработка.
• Сигурна термичка стабилност—— погоден за континуирани циклуси на греење и ладење.
• Цврста отпорност на корозија—— стабилно отпорен на хемиска корозија, плазма бомбардирање и процесна гасна ерозија.
1. Какви оперативни сценарија треба да избегнува овој производ?
Избегнувајте продолжено потопување HF на висока температура, жешка CPA корозија, силен удар, виткање и стискање.
2. Како да го одржувате и исчистите овој производ?
Строго е забрането стругање или мелење на ѕидот на цевката со тврди алатки за чистење; пред инсталација и повторна употреба, ве молиме исчистете темелно со растворот со висока чистота измешан со ултрачиста нафора.
3. Како можам да го добијам приспособеното производствено решение?
Испратете ни го вашиот детален цртеж, барањата за материјали и условите за работа на адресата за е-пошта на нашата веб-страница.