Aixtron 1x4" SiC обложени графитни сенсектори

Епитаксијалниот раст на наполитанките се реализира преку MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition). Прецизно дозирани ултра-чисти гасови се доставуваат во комората за реакција; на високи температури, се случуваат хемиски реакции, дозволувајќи им на атомските тенки филмови да се таложат на подлогите од обланда и да изградат сложени полупроводнички епитаксијални структури. Како незаменливи основни делови за MOCVD системите, перформансите на графитните сензори обложени со SiC имаат одлучувачко влијание врз брзината на раст на епитаксиите и квалитетот на готовиот нафора.

Semicorex прифаќа изостатски графит со висока чистота како основни материјали на Aixtron 1x4" SiC обложена со графитни сензори и нанесува густа заштитна обвивка од силициум карбид на нивната површина, правејќи ги да служат како идеални опции за барани опкружувања со епитаксијални процеси.

---

Висококвалитетни изостатски графитни основи

Аикстрон 1x4" SiC обложени сензори за графит се прецизно изработени од изостатичен графит од полупроводничка класа. Пофалувајќи се со ситна големина на зрно и униформни внатрешни својства, овој графитен материјал ги обезбедува следните одлични перформанси, овозможувајќи му на Aixtron 1x4"Графит обложен со SiCда обезбеди стабилен носач и подлога за загревање за време на процесите на епитаксија на нафора.

1. Ултра-висока чистота на материјалот

2. Цврста отпорност на термички шок

3.  Исклучителна отпорност на високи температури

4.  Сигурна хемиска стабилност

5. Супериорна топлинска спроводливост

6. Изотропни својства и конзистентни перформанси во сите правци

---

Густа CVD SIC облога

Со цел да се избегне контаминација на комората за реакција од необложенаграфитго заснова и го продолжува работниот век на чувствителните нафора, Semicorex усвојува технологија за хемиско таложење на пареа за покривање на униформа заштитна обвивка SiC на основната површина, обезбедувајќи супериорни перформанси наведени подолу:

1. Засилена отпорност на корозија

ГуститеCVD SiC облогаод Aixtron 1x4" SiC обложени графитни сензори делува како заштитна бариера, која може да ја спречи корозијата на графитната основа во ригорозни епитаксијални услови.

2. Силно меѓусебно поврзување

CVD SiC облогата е цврсто врзана со графитната основа и нема лесно да пука или да се олупи дури и при повторено термичко цикирање за време на епитаксијалниот процес.

3. Продолжен работен век

CVD SiC облогите можат да ја заштитат основата на графит од прашкаст и корозија за време на епитаксијален раст, со што значително го продолжуваат работниот век на Aixtron 1x4" SiC обложените графитни сензори.

Внимателна услуга и брза испорака

Semicorex располага со добро искусен тим подготвен брзо да се справи со прашањата на клиентите и да понуди професионална техничка поддршка. Потпирајќи се на нашите интегрирани работни процеси во производството, Semicorex нуди ефикасно време на производство на сензори за графитни обложени Aixtron 1x4" SiC обично во рок од 45-60 дена, што ефективно го намалува периодот на чекање на клиентите и временската рамка на проектот.