Како напредните материјали решаваат 3 критични предизвици во дизајнот на печката на полупроводници

Трката за намалување на големини на транзистор и ефикасност на соларни клетки на скала ја турка опремата за термичка обработка до нејзините граници. На Semicorex, поминавме две децении соработувајќи со водечки производители на полупроводници и PV за да се справиме со повторливата точка на болка: кога стандардните материјали не успеваат во екстремни услови, целиот производствен серија може да биде компромитиран.

CVD облоги: оклоп за компоненти на процеси

Обложувањата за таложење на хемиска пареа (CVD) како силиконски карбид (SIC) и танталум карбид (TAC) ја револуционизираат долговечноста на компонентите во груби околини:

Sic облогаПредности:

Издржи температури до 1.650 ° C во инертен атмосфери

Ја намалува загадувањето на честички во реакторите на епитаксичен раст

Го продолжува услужниот живот на графитните суксетори за 3-5x

TAC облогаВо дифузни бариери:

Спречува стопена силиконска инфилтрација во крпи (99,999% задржување на чистотата)

Го минимизира искривувањето на нафтата за време на брзата термичка обработка (РТП)

Кога температурите надминуваат 1600 ° C: предност на облогата CVD

Ова не е магија - тоа е наука за материјали. Нашиот комерцијален процес на CVD ги депонира и SIC и TAC обложувањата со прецизност на атомско ниво, создавајќи површини што:

Се спротивстави на силиконската пареа корозија 3x подолго од стандардните облоги

Одржувајте варијација на дебелина од <0,5 мм низ сложените геометрии

Елиминирајте ја делиминацијата на облогата дури и под термички велосипедизам

Тивка криза во термичка униформност

Кај печките за раст на кристалот, неконзистентната дистрибуција на температурата може да го претвори силиконскиот инго од 250 килограми. Преку материјални иновации како:

Графит-оценет графит (0,18-0,25g/cm³ Дизајн на градиент)

Композитни изолатори на јаглерод-јаглерод со <2% термичка експанзија анизотропија

... Им помогнавме на клиентите да постигнат:

✔ ± 1,5 ° C Аксијална температурна униформност во системи на Цоххалски 300мм

✔ 40% побрзи стапки на ладење без пукање

Зошто кварцната чистота е важна повеќе од кога било

Кога леарницата од Ниво-1 ги проследи дефектите на честичките на нивните облоги за гравирање, нашиот фузиран кварцен раствор без меурчиња:

Намалена метална контаминација за 89% (анализа на ICP-MS)

Проширени интервали за превентивно одржување од 3 до 8 месеци

Постигна 99,999% почетна чистота со <0,1ppb содржина на метал од алкали

Надвор од спецификациите: Инженеринг на апликации работи

Додека техничките спецификации обезбедуваат основни споредби, перформансите во реалниот свет зависи од:

• Спојување на материјал -процес - Како компонентите комуницираат со специфични хемикалии (на пр., CL₂ наспроти SF₆ плазма)

• Библиотеки на режимот на неуспех - Нашата база на податоци од 1.200+ случаи на неуспех на компонентата го информира изборот на материјал

• Оценување на сопствено - прилагодување на графитната порозност/спроводливост во пресеците на дел

Semicorex нуди висококвалитетноТанталум карбид обложенаиСиликонски карбид обложенаПрилагодени делови. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт Телефон # +86-13567891907

Е -пошта: sales@semicorex.com