Врз основа на конфигурацијата на комората за реакција, опремата за термичка обработка (опрема за цевки за печки) главно е поделена во три категории: вертикални цевки за печки, хоризонтални цевки за печки и печки за брза термичка обработка (RTP).
Прочитај повеќеРеакторите со полупроводнички печки се основна опрема во процесите на производство на полупроводници, првенствено се користат за критични процеси како што се термичка оксидација, дифузија, жарење и хемиско таложење на пареа. Типичен систем на печки (хоризонтална/вертикална дифузна печка) главно ги с......
Прочитај повеќеБрзо термичко жарење (скратено како RTA или RTP) е технологија за брза термичка обработка во производството на полупроводници. Нејзиниот основен принцип е брзо загревање на површината на обландата користејќи извор на топлина со висок интензитет (како што се халогени светилки, ласери, блиц светилки, ......
Прочитај повеќеТретата генерација на полупроводничка индустрија е во процес на брзо проширување на капацитетот. Процесите на епитаксијата на силициум карбид (SiC) и галиум нитрид (GaN) продолжуваат да се развиваат кон работни средини со висока температура, суровини со ултра висока чистота и минијатуризирани уреди ......
Прочитај повеќеВо производството на полупроводници, оксидацијата вклучува ставање на нафората во средина со висока температура каде кислородот тече низ површината на обландата за да формира оксиден слој. Ова ја штити обландата од хемиски нечистотии, спречува струја на истекување да влезе во колото, спречува дифузи......
Прочитај повеќеSemicorex обезбедува напредни TaC-обложени чувствителни нафора за графити дизајнирани за тешки полупроводнички процеси кои бараат одлична топлинска стабилност, хемиска отпорност и прецизни перформанси за поддршка на обландите. Со оглед на тоа што производителите на полупроводници продолжуваат да ра......
Прочитај повеќе