Semicorex RTP носачот е обложен со силициум карбид користејќи го процесот на хемиско таложење на пареа (CVD), кој е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење. Во сржта на полупроводничкиот процес, епитаксичните сензори, најпрво се подложени на околината на таложење, така што има висока отпорност на топлина и корозија. Носачот обложен со SiC, исто така, има висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.
● Графит обложен со SiC со висока чистота
● Супериорна отпорност на топлина и хемиска отпорност
● Висока топлинска униформност
● Одлична отпорност на абење
Semicorex RTP Ring е графитен прстен обложен со SiC, дизајниран за апликации со високи перформанси во системите за брза термичка обработка (RTP). Изберете Semicorex за нашата напредна технологија на материјали, обезбедувајќи супериорна издржливост, прецизност и доверливост во производството на полупроводници.*
Прочитај повеќеИспрати барањеRTP Graphite Carrier Plate на Semicorex е совршено решение за апликации за обработка на полупроводнички нафора, вклучувајќи епитаксиален раст и обработка на обланда. Нашиот производ е дизајниран да нуди супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност, осигурувајќи дека епитаксиите се подложени на околината на таложење, со висока отпорност на топлина и корозија.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex RTP SiC Coating Carrier нуди супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност, што го прави совршено решение за апликации за обработка на полупроводнички обланди. Со својот висококвалитетен графит обложен со SiC, овој производ е дизајниран да ја издржи најтешката средина за таложење за епитаксијален раст. Високата топлинска спроводливост и одличните својства на дистрибуција на топлина обезбедуваат сигурни перформанси за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Прочитај повеќеИспрати барањеНосачот за обложување Semicorex RTP/RTA SiC е дизајниран да ги издржи најтешките услови на околината за таложење. Со својата висока отпорност на топлина и корозија, овој производ е дизајниран да обезбеди оптимални перформанси за епитаксијален раст. Носачот обложен со SiC има висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина, што обезбедува сигурни перформанси за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC Graphite RTP носачката плоча за MOCVD нуди супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност, што го прави совршено решение за апликации за обработка на нафора со полупроводници. Со висококвалитетен графит обложен со SiC, овој производ е дизајниран да ја издржи најтешката средина за таложење за епитаксијален раст. Високата топлинска спроводливост и одличните својства на дистрибуција на топлина обезбедуваат сигурни перформанси за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC обложена RTP носачка плоча за епитаксијален раст е совршено решение за апликации за обработка на полупроводнички нафора. Со своите висококвалитетни јаглеродни графитни сензори и кварцни садници обработени од MOCVD на површината на графит, керамика и сл., овој производ е идеален за ракување со нафора и обработка на епитаксијален раст. Носачот обложен со SiC обезбедува висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина, што го прави сигурен избор за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Прочитај повеќеИспрати барање