Semicorex RTP носачот е обложен со силициум карбид користејќи го процесот на хемиско таложење на пареа (CVD), кој е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење. Во сржта на полупроводничкиот процес, епитаксичните сензори, најпрво се подложени на околината на таложење, така што има висока отпорност на топлина и корозија. Носачот обложен со SiC, исто така, има висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.
● Графит обложен со SiC со висока чистота
● Супериорна отпорност на топлина и хемиска отпорност
● Висока топлинска униформност
● Одлична отпорност на абење