Semicorex RTP SiC Coating Carrier нуди супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност, што го прави совршено решение за апликации за обработка на полупроводнички обланди. Со својот висококвалитетен графит обложен со SiC, овој производ е дизајниран да ја издржи најтешката средина за таложење за епитаксијален раст. Високата топлинска спроводливост и одличните својства на дистрибуција на топлина обезбедуваат сигурни перформанси за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Нашиот носач за обложување RTP SiC е дизајниран да ги издржи најтешките услови на околината за таложење. Со неговата висока отпорност на топлина и корозија, епитаксиите се подложени на совршена средина за таложење за епитаксијален раст. Финиот SiC кристален слој на носачот обезбедува мазна површина и висока издржливост против хемиско чистење, додека материјалот е дизајниран да спречи пукнатини и раслојување.
Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување на висококвалитетен, рентабилен RTP SiC носач за обложување, даваме приоритет на задоволството на клиентите и обезбедуваме економични решенија. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со висок квалитет и исклучителна услуга за клиентите.
Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашиот носач за обложување RTP SiC.
Параметри на RTP SiC обложување носач
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на носачот за обложување RTP SiC
Графит обложен со SiC со висока чистота
Супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност
Фин SiC кристал обложен за мазна површина
Висока издржливост против хемиско чистење
Материјалот е дизајниран така што да не се појавуваат пукнатини и раслојување.