SiC обложена RTP носачка плоча за епитаксијален раст

Semicorex SiC обложена RTP носачка плоча за епитаксијален раст е совршено решение за апликации за обработка на полупроводнички нафора. Со своите висококвалитетни јаглеродни графитни сензори и кварцни садници обработени од MOCVD на површината на графит, керамика и сл., овој производ е идеален за ракување со нафора и обработка на епитаксијален раст. Носачот обложен со SiC обезбедува висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина, што го прави сигурен избор за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.

Испрати барање

Опис на производот

Нашата обложена со SiC RTP носачка плоча за епитаксијален раст е дизајнирана да ги издржи најтешките услови во околината за таложење. Со неговата висока отпорност на топлина и корозија, епитаксиите се подложени на совршена средина за таложење за епитаксијален раст. Финиот SiC кристален слој на носачот обезбедува мазна површина и висока издржливост против хемиско чистење, додека материјалот е дизајниран да спречи пукнатини и раслојување.
Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашата носачка плоча со SiC обложена RTP за епитаксијален раст.

Параметри на SiC обложена RTP носачка плоча за епитаксијален раст

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на SiC обложена RTP носачка плоча за епитаксијален раст

Графит обложен со SiC со висока чистота
Супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност
Фин SiC кристал обложен за мазна површина
Висока издржливост против хемиско чистење
Материјалот е дизајниран така што да не се појавуваат пукнатини и раслојување.

Жешки тагови: SiC обложена RTP носачка плоча за епитаксијален раст, Кина, производители, добавувачи, фабрички, приспособени, рефус, напредни, издржливи

Ознака на производот

Поврзана категорија