RTP RTA SiC обложен носач

Semicorex е голем производител и снабдувач на силикон карбид обложен графит сусцептор во Кина. Семикорекс графит сензор конструиран специјално за опрема за епитаксија со висока отпорност на топлина и корозија во Кина. Нашиот RTP RTA SiC обложен носач има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер.

Испрати барање

Опис на производот

Semicorex обезбедува RTP RTA SiC обложен носач кој се користи за поддршка на наполитанки, кој е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење. RTP RTA SiC обложен носач со конструкција од графит обложена со силициум карбид (SiC) со висока чистота обезбедува супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност за конзистентна дебелина и отпорност на епи слојот и издржлива хемиска отпорност. Финиот SiC кристален слој обезбедува чиста, мазна површина, критична за ракување, бидејќи беспрекорните наполитанки контактираат со сензорот на многу точки низ целата нивна површина.
Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување висококвалитетен, рентабилен RTP RTA SiC обложен носач, даваме приоритет на задоволството на клиентите и обезбедуваме економични решенија. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со висок квалитет и исклучителна услуга за клиентите.

Параметри на RTP RTA SiC обложен носач

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	Фаза FCC Î²
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	¼ м	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J·kg-1·K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на RTP RTA SiC обложен носач

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.
- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.
- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно да ја подобрите јачината на врзувањето за да спречите пукање и раслојување.
- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.
- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.