Фокусниот прстен или рабните прстени се дизајнирани да ја подобрат униформноста на офорт околу работ или периметарот на обландата.
Семикорекс-фокусните прстени се обложени со силициум карбид со употреба на хемиско таложење на пареа (CVD) обезбедуваат супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност за конзистентна дебелина и отпор на слојот на епи-слој и издржлива хемиска отпорност, кои се изградени да издржат екстремни средини во процесот на плазма офорт или суво офорт .
Трајните прстени за фокусирање Semicorex за полупроводничка обработка се дизајнирани да ги издржат екстремните средини на плазма коморите за гравирање што се користат во полупроводничка обработка. Нашите фокусни прстени се направени од графит со висока чистота обложен со густа, отпорна на абење обвивка од силициум карбид (SiC). Облогата SiC има високи својства на отпорност на корозија и топлина, како и одлична топлинска спроводливост. Нанесуваме SiC во тенки слоеви на графитот користејќи го процесот на хемиско таложење на пареа (CVD) за да го подобриме работниот век на нашите фокусни прстени.
Прочитај повеќеИспрати барањеФокусниот прстен за обработка на плазма Semicorex е специјално дизајниран да ги задоволи високите барања за обработка на плазма офорт во индустријата за полупроводници. Нашите напредни компоненти обложени со силикон карбид со висока чистота се изградени да издржат екстремни средини и се погодни за употреба во различни апликации, вклучувајќи слоеви од силициум карбид и епитаксии полупроводници.
Прочитај повеќеИспрати барањеНапредните прстени за фокусирање на SiC со висока чистота Semicorex се изградени за да издржат екстремни средини во коморите за плазма офорт (или сува ограда). Се фокусираме на полупроводничките индустрии како што се слоевите на силициум карбид и епитаксичните полупроводници. Нашите производи имаат добра ценовна предност и покриваат многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање