Фокусниот прстен или рабните прстени се дизајнирани да ја подобрат униформноста на офорт околу работ или периметарот на обландата.
Семикорекс фокусните прстени се обложени со силициум карбид со употреба на хемиско таложење на пареа (CVD) обезбедуваат супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи-слој и издржлива хемиска отпорност, кои се изградени да издржат екстремни средини во процесот на плазма офорт или суво офорт .
Semicorex SiC Focus Ring е компонента на прстен од силициум карбид со висока чистота, дизајнирана да ја оптимизира дистрибуцијата на плазмата и униформноста на процесот на обланда во производството на полупроводници. Изборот на Semicorex значи обезбедување постојан квалитет, напредно инженерство на материјали и доверливи перформанси на кои им веруваат водечките фабрики за полупроводници ширум светот.*
Прочитај повеќеИспрати барање