Капаците на комората се користат за создавање чиста, инертна и заштитена средина во коморите за таложење, така што тие се изложени на плазма и висока температура за време на процесите на таложење или офорт. Капаците на комората Semicorex се издржливи керамички компоненти обложени со силициум карбид со користење на методот на хемиско таложење на пареа (CVD), одлични за да се спротивстават на овие предизвикувачки средини.