Прстените за влез на гас се користат за покривање на рабовите и периметарот на обландата, заштитувајќи ги критичните компоненти на комората за да создадат чиста, инертна и заштитена средина и продолжувајќи го нивниот корисен век во коморите за таложење, така што тие се изложени на плазма и висока температура за време на таложење или обработка на обланда , така што силната издржливост на плазмата и високата чистота се клучни за конечниот принос на нафора.
Семикорекс CVD SiC обложени прстени дизајнирани специјално за овие тешки апликации на опремата за епитаксичност.