Semicorex е ваш партнер за подобрување во полупроводничката обработка. Нашите премази од силициум карбид се густи, високи температури и хемиски отпорни, кои често се користат во целиот циклус на производство на полупроводници, вклучително и обработка на полупроводнички нафора и нафора и производство на полупроводници.
СиЦ керамичките компоненти со висока чистота се клучни за процесите во полупроводниците. Нашата понуда се движи од делови за потрошен материјал за опрема за обработка на нафора, како што се чамец со нафора од силикон карбид, лопатки со конзоли, цевки, итн за Epitaxy или MOCVD.
Предности за полупроводнички процеси
Фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксијата или MOCVD, или обработката на обланда, како што е офорт или јонски имплант, мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење. Семикорекс обезбедува конструкција со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина и издржлива хемиска отпорност, дури и термичка униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи.
Капаци на комората →
Капаците на комората што се користат за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење.
Конзолна лопатка →
Конзолната лопатка е клучна компонента што се користи во процесите на производство на полупроводници, особено во дифузните или LPCVD печките за време на процеси како дифузија и RTP.
Процесна цевка →
Process Tube е клучна компонента, специјално дизајнирана во различни апликации за обработка на полупроводници како што се RTP, дифузија.
Чамци со нафора →
Wafer Boat се користи во полупроводничка обработка, тој е прецизно дизајниран за да се осигура дека деликатните наполитанки се чуваат безбедни за време на критичните фази на производство.
Влезни прстени →
Влезен прстен за гас обложен со SiC со опрема MOCVD Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремна средина.
Фокус прстен →
Semicorex го снабдува Фокусниот прстен обложен со силикон карбид е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Чак за нафора →
Семикорекс ултра рамните керамички вакуумски нафора се обложени со висока чистота SiC кои се користат во процесот на ракување со нафора.
Semicorex исто така има керамички производи во Алумина (Al2O3), силикон нитрид (Si3N4), алуминиум нитрид (AIN), цирконија (ZrO2), композитна керамика итн.
Специјално дизајнирани за екстремни температурни апликации, Топло цедените борни нитридни садови се незаменливи керамички контејнери кои служат како брилијантни решенија и за процесите на топење и испарување на метали и процеси на раст на полупроводнички кристали.
Прочитај повеќеИспрати барањеПроизведени од висококвалитетни материјали од силициум карбид, заштитните цевки за термоспој SIC се напредни керамички решенија кои се користат за заштита на термопаровите да работат нормално во опкружувања со високи температури. Изберете Semicorex за прецизно дизајнирани SIC цевки за заштита на термоспој, кои обезбедуваат конзистентен квалитет на ладење, максимална цена и трошок.
Прочитај повеќеИспрати барањеНаправени од керамика со силициум карбид со високи перформанси, каналите за ладење на силициум карбид се извонредни компоненти на цевки кои се користат во процесите на ладење на индустриските печки со висока температура. Изберете Semicorex за прецизно дизајнирани канали за ладење на силикон карбид кои обезбедуваат постојан квалитет, економична цена и максимална ефикасност на ладењето.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Carbon Ceramic Brake е направена од напредни карбон-керамички композити, кои се напреден материјал кој е многу погоден за работна средина со висока температура. Semicorex испорачува приспособени производи според апликациите и барањата на клиентите.*
Прочитај повеќеИспрати барањеСилициум карбид ICP офорт е незаменлив држач за нафора произведен од синтерувана силициум карбид керамика со висока чистота. Специјално дизајниран од Semicorex, тој служи како клучни овозможувачи за системи за офорт и таложење со индуктивно поврзана плазма (ICP) во најсовремената полупроводничка индустрија.
Прочитај повеќеИспрати барањеСадовите со алуминиум нитрид од Semicorex се произведени од керамиката AlN од полупроводничка класа, кои се реакциони садови со високи перформанси кои се применуваат во предизвикувачки средини со висока температура. Semicorex нуди приспособено производство според барањата на клиентите, справувајќи се и со нарачки од големи размери и со потребите на прототипи од мали серии.
Прочитај повеќеИспрати барање