Semicorex е ваш партнер за подобрување во полупроводничката обработка. Нашите премази од силициум карбид се густи, високи температури и хемиски отпорни, кои често се користат во целиот циклус на производство на полупроводници, вклучително и обработка на полупроводнички нафора и нафора и производство на полупроводници.
СиЦ керамичките компоненти со висока чистота се клучни за процесите во полупроводниците. Нашата понуда се движи од делови за потрошен материјал за опрема за обработка на нафора, како што се чамец со нафора од силикон карбид, лопатки со конзоли, цевки, итн за Epitaxy или MOCVD.
Предности за полупроводнички процеси
Фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксијата или MOCVD, или обработката на обланда, како што е офорт или јонски имплант, мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење. Семикорекс обезбедува конструкција со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина и издржлива хемиска отпорност, дури и термичка униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи.
Капаци на комората →
Капаците на комората што се користат за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење.
Конзолна лопатка →
Конзолната лопатка е клучна компонента што се користи во процесите на производство на полупроводници, особено во дифузните или LPCVD печките за време на процеси како дифузија и RTP.
Процесна цевка →
Process Tube е клучна компонента, специјално дизајнирана во различни апликации за обработка на полупроводници како што се RTP, дифузија.
Чамци со нафора →
Wafer Boat се користи во полупроводничка обработка, тој е прецизно дизајниран за да се осигура дека деликатните наполитанки се чуваат безбедни за време на критичните фази на производство.
Влезни прстени →
Влезен прстен за гас обложен со SiC со опрема MOCVD Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремна средина.
Фокус прстен →
Semicorex го снабдува Фокусниот прстен обложен со силикон карбид е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Чак за нафора →
Семикорекс ултра рамните керамички вакуумски нафора се обложени со висока чистота SiC кои се користат во процесот на ракување со нафора.
Semicorex исто така има керамички производи во Алумина (Al2O3), силикон нитрид (Si3N4), алуминиум нитрид (AIN), цирконија (ZrO2), композитна керамика итн.
Силиконските силиконски нитридни плочи се керамички подлоги со голема јачина, дизајнирани да испорачуваат исклучителни термички перформанси и механичка сигурност за напредни модули за напојување. Избор на Semicorex значи корист од прецизно производство, строга контрола на квалитетот и експертиза за инженерство на материјали кои обезбедуваат конзистентни перформанси дури и во најсложените апликации.*
Прочитај повеќеИспрати барањеВертикалниот брод Semicorex SIC е носач на нафта со високи перформанси, дизајниран за употреба во вертикални процеси на печката, нуди исклучителна стабилност, чистота и трајност. Изберете Semicorex за бескомпромисен квалитет, прецизно производство и докажана сигурност во термичката обработка на полупроводници.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SIC цевките се со високи перформанси силиконски карбидни керамички компоненти дизајнирани за апликации за печка на полупроводници, испорачуваат исклучителна термичка, механичка и хемиска стабилност во барањата што бараат процеси. Изберете Semicorex за прецизно инженерски SIC цевки кои обезбедуваат постојан квалитет, продолжен животен век и максимална ефикасност на печката.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex хоризонтална комора печка SIC чамци се носач на силиконски карбид со висока чистота, дизајниран за безбедно држење на нафта за време на обработка на хоризонтална печка со висока температура. Изборот на Semicorex значи корист од прецизно инженерство, исклучителна издржливост и супериорни термички перформанси за конзистентно, производство со висок принос.*
Прочитај повеќеИспрати барањеОгледалата за скенирање на Semicorex Silicon Carbide даваат исклучителна прецизност, брзина и стабилност за најпребирливите апликации за оптичко скенирање. Изберете Semicorex за неспоредлива експертиза во SIC инженерството, нудејќи прилагодени геометрии, премија облоги и докажана сигурност во оптичките системи со високи перформанси.*
Прочитај повеќеИспрати барањеОгледалата на Semicorex SIC се со високи перформанси силиконски карбидни оптички компоненти, дизајнирани за екстремна прецизност во апликации, како што се системи за скенирање на оптика, литографија и телескопи засновани на вселената. Изберете Semicorex за нашата напредна експертиза за производство, прилагодливи дизајни и исклучителна завршна површина што обезбедува неспоредлива стабилност, рефлексивност и сигурност во најсложените околини.*
Прочитај повеќеИспрати барање