Semicorex е ваш партнер за подобрување во полупроводничката обработка. Нашите премази од силициум карбид се густи, високи температури и хемиски отпорни, кои често се користат во целиот циклус на производство на полупроводници, вклучително и обработка на полупроводнички нафора и нафора и производство на полупроводници.
СиЦ керамичките компоненти со висока чистота се клучни за процесите во полупроводниците. Нашата понуда се движи од делови за потрошен материјал за опрема за обработка на нафора, како што се чамец со нафора од силикон карбид, лопатки со конзоли, цевки, итн за Epitaxy или MOCVD.
Предности за полупроводнички процеси
Фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксијата или MOCVD, или обработката на обланда, како што е офорт или јонски имплант, мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење. Семикорекс обезбедува конструкција со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина и издржлива хемиска отпорност, дури и термичка униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи.
Капаци на комората →
Капаците на комората што се користат за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење.
Конзолна лопатка →
Конзолната лопатка е клучна компонента што се користи во процесите на производство на полупроводници, особено во дифузните или LPCVD печките за време на процеси како дифузија и RTP.
Процесна цевка →
Process Tube е клучна компонента, специјално дизајнирана во различни апликации за обработка на полупроводници како што се RTP, дифузија.
Чамци со нафора →
Wafer Boat се користи во полупроводничка обработка, тој е прецизно дизајниран за да се осигура дека деликатните наполитанки се чуваат безбедни за време на критичните фази на производство.
Влезни прстени →
Влезен прстен за гас обложен со SiC со опрема MOCVD Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремна средина.
Фокус прстен →
Semicorex го снабдува Фокусниот прстен обложен со силикон карбид е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Чак за нафора →
Семикорекс ултра рамните керамички вакуумски нафора се обложени со висока чистота SiC кои се користат во процесот на ракување со нафора.
Semicorex исто така има керамички производи во Алумина (Al2O3), силикон нитрид (Si3N4), алуминиум нитрид (AIN), цирконија (ZrO2), композитна керамика итн.
Дисковите за пренасочување на гас обложени со Semicorex SiC се незаменливите графитни компоненти кои се применуваат во полупроводничката епитаксијална опрема, специјално дизајнирани да го регулираат протокот на реакциониот гас и да промовираат рамномерна дистрибуција на гас во реакционата комора. Изберете Semicorex, изберете оптимални решенија за пренасочување на гас за висококвалитетни епитаксијални резултати на нафора.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC Wafer Carrier е изработен од високо-чиста керамика од силикон карбид, преку технологија за 3D печатење, што значи дека може да постигне високовредни компоненти за обработка за кратко време. Се смета дека Semicorex обезбедува квалификувани висококвалитетни производи на нашите глобални клиенти.*
Прочитај повеќеИспрати барањеГорните земјени прстени обложени со Semicorex CVD SiC се основните компоненти во облик на прстен, дизајнирани специјално за софистицирана опрема за офорт со плазма. Како водечки снабдувач на полупроводнички компоненти во индустријата, Semicorex се фокусира на испорака на висококвалитетни, долготрајни и ултра чисти горните прстени обложени со CVD SiC за да им помогне на нашите ценети клиенти да ја подобрат оперативната ефикасност и севкупниот квалитет на производот.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC заптивките се механички компоненти за лице со високи перформанси дизајнирани да обезбедат супериорна отпорност на абење, термичка стабилност и универзална хемиска инертност во најсложените средини на ротирачка опрема. Semicorex е професионален снабдувач на керамички материјали SiC, кој може да ги снабдува производите со висока прецизност за глобалните клиенти.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC пиедестал е високопрецизна, мултифункционална хардверска компонента дизајнирана да обезбеди термичка стабилност и сложена дистрибуција на течности потребни за напредни микроканални системи за реакција. Semicorex е специјализиран за инженерство и снабдување со овие високо-чисти SiC постаменти според потребите на клиентите.*
Прочитај повеќеИспрати барањеПлочите за полирање на нафора од алумина семикорекс се компоненти за полирање со високи перформанси направени од алумина керамика, кои се дизајнирани специјално за процесот на полирање на нафора во полупроводничката индустрија со висока класа. Избирајќи Semicorex, изберете ги производите со исплатливи цени, исклучителна издржливост и високо ефикасни перформанси на обработка.
Прочитај повеќеИспрати барање