Semicorex е ваш партнер за подобрување во полупроводничката обработка. Нашите премази од силициум карбид се густи, високи температури и хемиски отпорни, кои често се користат во целиот циклус на производство на полупроводници, вклучително и обработка на полупроводнички нафора и нафора и производство на полупроводници.
СиЦ керамичките компоненти со висока чистота се клучни за процесите во полупроводниците. Нашата понуда се движи од делови за потрошен материјал за опрема за обработка на нафора, како што се чамец со нафора од силикон карбид, лопатки со конзоли, цевки, итн за Epitaxy или MOCVD.
Предности за полупроводнички процеси
Фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксијата или MOCVD, или обработката на обланда, како што е офорт или јонски имплант, мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење. Семикорекс обезбедува конструкција со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина и издржлива хемиска отпорност, дури и термичка униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи.
Капаци на комората →
Капаците на комората што се користат за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење.
Конзолна лопатка →
Конзолната лопатка е клучна компонента што се користи во процесите на производство на полупроводници, особено во дифузните или LPCVD печките за време на процеси како дифузија и RTP.
Процесна цевка →
Process Tube е клучна компонента, специјално дизајнирана во различни апликации за обработка на полупроводници како што се RTP, дифузија.
Чамци со нафора →
Wafer Boat се користи во полупроводничка обработка, тој е прецизно дизајниран за да се осигура дека деликатните наполитанки се чуваат безбедни за време на критичните фази на производство.
Влезни прстени →
Влезен прстен за гас обложен со SiC со опрема MOCVD Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремна средина.
Фокус прстен →
Semicorex го снабдува Фокусниот прстен обложен со силикон карбид е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Чак за нафора →
Семикорекс ултра рамните керамички вакуумски нафора се обложени со висока чистота SiC кои се користат во процесот на ракување со нафора.
Semicorex исто така има керамички производи во Алумина (Al2O3), силикон нитрид (Si3N4), алуминиум нитрид (AIN), цирконија (ZrO2), композитна керамика итн.
Порозен керамички чак Semicorex (вакуум чак) е високопрецизна алатка дизајнирана за безбедно држење на наполитанки за време на процесите на производство на полупроводници. Со избирање на Semicorex, имате корист од решението кое нуди исклучителни перформанси, издржливост и опции за прилагодување, обезбедувајќи зголемена ефикасност на производството и доследни стандарди за квалитет.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Alumina Vacuum Chucks се прецизно дизајнирани компоненти дизајнирани безбедно да држат наполитанки или подлоги за време на критичните процеси на полупроводници и прецизно производство. Со посветеноста на Semicorex за висококвалитетни материјали и најсовремени производствени техники, нашите Alumina Vacuum Chucks обезбедуваат неспоредлива сигурност, прецизност и перформанси за вашите најсложени апликации.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Vacuum Chuck е компонента со високи перформанси дизајнирана за сигурно и прецизно ракување со нафора во производството на полупроводници. Изберете Semicorex за нашите напредни, издржливи и отпорни на контаминација решенија кои обезбедуваат оптимални перформанси дури и во најсложените процеси.*
Прочитај повеќеИспрати барањеРакавот од силикон карбид Semicorex најчесто се користи како постава отпорна на абење и отпорна на корозија за опрема како што се цилиндри, пумпи, вентили, лизгачки лежишта и барабани за мелење.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Alumina Insulation Ring се користи како изолатор во различни електрични компоненти, неговите одлични електрични изолациски својства обезбедуваат сигурни перформанси во апликации каде спречувањето на електричната спроводливост е од суштинско значење.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Silicon Carbide Liner е разноврсен и робустен материјал кој служи како непроценливо богатство за оптимизирање на ефикасноста и долговечноста на опремата за индустриска обработка.
Прочитај повеќеИспрати барање