Semicorex е ваш партнер за подобрување во полупроводничката обработка. Нашите премази од силициум карбид се густи, високи температури и хемиски отпорни, кои често се користат во целиот циклус на производство на полупроводници, вклучително и обработка на полупроводнички нафора и нафора и производство на полупроводници.
СиЦ керамичките компоненти со висока чистота се клучни за процесите во полупроводниците. Нашата понуда се движи од делови за потрошен материјал за опрема за обработка на нафора, како што се чамец со нафора од силикон карбид, лопатки со конзоли, цевки, итн за Epitaxy или MOCVD.
Предности за полупроводнички процеси
Фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксијата или MOCVD, или обработката на обланда, како што е офорт или јонски имплант, мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење. Семикорекс обезбедува конструкција со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина и издржлива хемиска отпорност, дури и термичка униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи.
Капаци на комората →
Капаците на комората што се користат за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење.
Конзолна лопатка →
Конзолната лопатка е клучна компонента што се користи во процесите на производство на полупроводници, особено во дифузните или LPCVD печките за време на процеси како дифузија и RTP.
Процесна цевка →
Process Tube е клучна компонента, специјално дизајнирана во различни апликации за обработка на полупроводници како што се RTP, дифузија.
Чамци со нафора →
Wafer Boat се користи во полупроводничка обработка, тој е прецизно дизајниран за да се осигура дека деликатните наполитанки се чуваат безбедни за време на критичните фази на производство.
Влезни прстени →
Влезен прстен за гас обложен со SiC со опрема MOCVD Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремна средина.
Фокус прстен →
Semicorex го снабдува Фокусниот прстен обложен со силикон карбид е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Чак за нафора →
Семикорекс ултра рамните керамички вакуумски нафора се обложени со висока чистота SiC кои се користат во процесот на ракување со нафора.
Semicorex исто така има керамички производи во Алумина (Al2O3), силикон нитрид (Si3N4), алуминиум нитрид (AIN), цирконија (ZrO2), композитна керамика итн.
Цевката за оксидација на Semicorex SIC е компонента со високи перформанси што се користи во печки на SIC цевки за напредна термичка обработка на полупроводници. Тој е дизајниран за долгорочна стабилност во екстремни услови. Изберете Semicorex за нашата супериорна материјална чистота, тесна димензионална контрола и постојан квалитет на производот, помагајќи ви да постигнете оптимални резултати во секое работење со висока температура.*
Прочитај повеќеИспрати барањеПод-плочките за монтирање на алуминиум Semicorex се керамички компоненти со високи перформанси дизајнирани за прецизно ракување со нафора во производството на полупроводници. Неговата супериорна јачина, изолација и термичка стабилност го прават идеален за барање околини за автоматизација на просторијата.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Silicon Carbide Vacuum Чак е раствор за ракување со нафора со високи перформанси направено од порозен силиконски карбид. Специфично е дизајниран за вакуумска адсорпција на полупроводнички нафори за време на критични процеси како што се монтирање (восочување), слабеење, де-восочување, чистење, дикирање и брзо термичко полнење (RTA). Изберете Semicorex за неспоредлива материјална чистота, димензионална прецизност и сигурни перформанси во барањата на полупроводнички средини.*
Прочитај повеќеИспрати барањеAlumine Robot Alumine Robot Almine е керамичка компонента со високи перформанси дизајнирана за прецизно ракување со нафора во производството на полупроводници. Неговата супериорна јачина, изолација и термичка стабилност го прават идеален за барање околини за автоматизација на просторијата.*
Прочитај повеќеИспрати барањеКерамички ефект на керамички керамички алуминиум на Semicorex е прецизна инженерска компонента специјално дизајнирана за сигурно и ракување со нафора без загадување при производство на полупроводници и сродни апликации.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Porous Sic Chuck е керамички вакуум со високи перформанси, дизајниран за безбедна и униформа адсорпција на нафта при обработка на полупроводници. Неговата инженерска микро-порозна структура обезбедува одлична дистрибуција на вакуум, што ја прави идеална за прецизни апликации.*
Прочитај повеќеИспрати барање