Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој од тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD).
Тантал карбид (TaC) е соединение кое се состои од тантал и јаглерод. Има метална електрична спроводливост и исклучително висока точка на топење, што го прави огноотпорен керамички материјал познат по својата цврстина, цврстина и отпорност на топлина и абење. Точката на топење на тантал карбидите достигнува максимум на околу 3880°C во зависност од чистотата и има една од највисоките точки на топење меѓу бинарните соединенија. Ова го прави атрактивна алтернатива кога повисоките температурни барања ги надминуваат перформансите што се користат во сложените полупроводнички епитаксијални процеси како што се MOCVD и LPE.
Податоци за материјалот на Semicorex TaC Coating
|
Проекти |
Параметри |
|
Густина |
14,3 (gm/cm³) |
|
Емисивност |
0.3 |
|
CTE (× 10-6/К) |
6.3 |
|
Цврстина (HK) |
2000 |
|
Отпор (Ом-см) |
1×10-5 |
|
Термичка стабилност |
<2500℃ |
|
Промена на димензијата на графитот |
-10~-20um (референтна вредност) |
|
Дебелина на облогата |
≥20um типична вредност (35um±10um) |
|
|
|
|
Горенаведените се типични вредности |
|
Semicorex TaC Coated Components in Epitaxial Growth е скапоцен обработен дел лоциран во доводот на воздух во епитаксијалниот процес во полупроводникот. Semicorex е врвна компанија која е специјализирана за CVD TaC технологија за обложување во Кина и извезува производи низ целиот свет.*
Прочитај повеќеИспрати барањеДржачот за семе кристал обложен со TaC е компонента со високи перформанси специјално дизајнирана за околината за раст на полупроводнички материјали. Како водечки производител на држачи за семенски кристали обложени со TTaC, semicorex ви нуди ефикасни решенија за основни компоненти во полето за производство на полупроводници со висока класа.
Прочитај повеќеИспрати барањеПоддржувачот на подлогата за обложување Semicorex TaC е критична компонента дизајнирана за системи за епитаксијален раст, специјално приспособена за поддршка на постаментите на реакторите и оптимизирање на дистрибуцијата на протокот на гас во процесот. Semicorex испорачува решение со високи перформанси, прецизно дизајнирано, кое комбинира супериорен структурен интегритет, термичка стабилност и хемиска отпорност - обезбедувајќи постојани, сигурни перформанси во напредните апликации за епитаксии.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex CVD TaC Coated Susceptor е врвно решение дизајнирано за MOCVD епитаксијални процеси, обезбедувајќи извонредна термичка стабилност, чистота и отпорност на корозија при екстремни услови на процесот. Semicorex се фокусира на прецизно дизајнирана технологија за обложување која обезбедува постојан квалитет на обланда, продолжен век на траење на компонентите и сигурни перформанси во секој производствен циклус.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC обложените ролни се контејнер со високи перформанси дизајнирани за апликации со екстремни температури, погодни и за топење на метал и за напредни процеси на полупроводници. Изборот на Semicorex значи да се добие пристап до врвна технологија за обложување и инженерска експертиза кои обезбедуваат исклучителна чистота, издржливост и стабилност во најсложените средини.*
Прочитај повеќеИспрати барањеПланетарната плоча обложена со Semicorex TaC е високопрецизна компонента дизајнирана за епитаксијален раст на MOCVD, која се карактеризира со планетарно движење со повеќекратни џебови на нафора и оптимизирана контрола на протокот на гас. Изборот на Semicorex значи пристап до напредна технологија за обложување и инженерска експертиза кои обезбедуваат исклучителна издржливост, чистота и стабилност на процесот за индустријата за полупроводници.*
Прочитај повеќеИспрати барање