Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој од тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD).
Тантал карбид (TaC) е соединение кое се состои од тантал и јаглерод. Има метална електрична спроводливост и исклучително висока точка на топење, што го прави огноотпорен керамички материјал познат по својата цврстина, цврстина и отпорност на топлина и абење. Точката на топење на тантал карбидите достигнува максимум на околу 3880°C во зависност од чистотата и има една од највисоките точки на топење меѓу бинарните соединенија. Ова го прави атрактивна алтернатива кога повисоките температурни барања ги надминуваат перформансите што се користат во сложените полупроводнички епитаксијални процеси како што се MOCVD и LPE.
Податоци за материјалот на Semicorex TaC Coating
|
Проекти |
Параметри |
|
Густина |
14,3 (gm/cm³) |
|
Емисивност |
0.3 |
|
CTE (× 10-6/К) |
6.3 |
|
Цврстина (HK) |
2000 |
|
Отпор (Ом-см) |
1×10-5 |
|
Термичка стабилност |
<2500℃ |
|
Промена на димензијата на графитот |
-10~-20um (референтна вредност) |
|
Дебелина на облогата |
≥20um типична вредност (35um±10um) |
|
|
|
|
Горенаведените се типични вредности |
|
Порозните прстени од тантал карбид Semicorex се огноотпорни компоненти со високи перформанси, специјално дизајнирани за процесот на транспорт на физичка пареа (PVT) на раст на кристали од силициум карбид (SiC), со монолитна синтерувана структура која нуди исклучителна термичка стабилност и контролирана пропустливост на гас.*
Прочитај повеќеИспрати барањеГрафитни обланди обложени со Semicorex TaC се најсовремените компоненти кои вообичаено се применуваат за стабилна поддршка и позиционирање на полупроводничките наполитанки за време на напредните полупроводнички епитаксијални процеси. Искористувајќи ги најсовремените технологии за производство и зрело производствено искуство, Semicorex е посветена на снабдување на нарачани сензори за графитни обланди обложени со TaC со сопствен квалитет со водечки квалитет на пазарот за нашите ценети клиенти.
Прочитај повеќеИспрати барањеСемикорекс CVD TaC обложените сенцептори се графитни сензори со високи перформанси со густа обвивка TaC, дизајнирани да даваат одлична топлинска униформност и отпорност на корозија за тешки процеси на епитаксијален раст на SiC. Semicorex комбинира напредна технологија за CVD обложување со строга контрола на квалитетот за да обезбеди долготрајни чувствителни сензори со ниска контаминација на кои им веруваат светските производители на SiC epi.*
Прочитај повеќеИспрати барањеВодечките прстени обложени со тантал карбид семикорекс се компонентите на прстените со високи перформанси што се користат во опремата за раст на полупроводнички кристали. Тие се специјално дизајнирани да создадат соодветен температурен градиент и стабилна средина за проток на воздух за време на растот на кристалите. Со избирање на водечки прстени обложени со тантал карбид Semicorex, ќе имате корист од неспоредливата технологија за обложување и високо ефикасно и стабилно производствено искуство.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC обложена графит Crucible е направен со графит за обложување Тантал карбид преку методот CVD, кој е најсоодветен материјал применет во процесот на производство на полупроводници. Semicorex е компанија која постојано е специјализирана за CVD керамички облоги и ги нуди најдобрите решенија за материјали во индустријата за полупроводници.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC Coated Components in Epitaxial Growth е скапоцен обработен дел лоциран во доводот на воздух во епитаксијалниот процес во полупроводникот. Semicorex е врвна компанија која е специјализирана за CVD TaC технологија за обложување во Кина и извезува производи низ целиот свет.*
Прочитај повеќеИспрати барање