Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој од тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD).
Тантал карбид (TaC) е соединение кое се состои од тантал и јаглерод. Има метална електрична спроводливост и исклучително висока точка на топење, што го прави огноотпорен керамички материјал познат по својата цврстина, цврстина и отпорност на топлина и абење. Точката на топење на тантал карбидите достигнува максимум на околу 3880°C во зависност од чистотата и има една од највисоките точки на топење меѓу бинарните соединенија. Ова го прави атрактивна алтернатива кога повисоките температурни барања ги надминуваат перформансите што се користат во сложените полупроводнички епитаксијални процеси како што се MOCVD и LPE.
Податоци за материјалот на Semicorex TaC Coating
|
Проекти |
Параметри |
|
Густина |
14,3 (gm/cm³) |
|
Емисивност |
0.3 |
|
CTE (× 10-6/К) |
6.3 |
|
Цврстина (HK) |
2000 |
|
Отпор (Ом-см) |
1×10-5 |
|
Термичка стабилност |
<2500℃ |
|
Промена на димензијата на графитот |
-10~-20um (референтна вредност) |
|
Дебелина на облогата |
≥20um типична вредност (35um±10um) |
|
|
|
|
Горенаведените се типични вредности |
|