Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој од тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD).
Тантал карбид (TaC) е соединение кое се состои од тантал и јаглерод. Има метална електрична спроводливост и исклучително висока точка на топење, што го прави огноотпорен керамички материјал познат по својата цврстина, цврстина и отпорност на топлина и абење. Точката на топење на тантал карбидите достигнува максимум на околу 3880°C во зависност од чистотата и има една од највисоките точки на топење меѓу бинарните соединенија. Ова го прави атрактивна алтернатива кога повисоките температурни барања ги надминуваат перформансите што се користат во сложените полупроводнички епитаксијални процеси како што се MOCVD и LPE.
Податоци за материјалот на Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Густина |
14,3 (gm/cm³) |
Емисивност |
0.3 |
CTE (× 10-6/К) |
6.3 |
Цврстина (HK) |
2000 |
Отпорност (Ом-см) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500â |
Промена на димензијата на графитот |
-10~-20um (референтна вредност) |
Дебелина на облогата |
â¥20um типична вредност (35um±10um) |
|
|
Горенаведените се типични вредности |
|
Порозен графит Semicorex со TaC облога е специјализиран материјал дизајниран да одговори на критичните предизвици во растот на кристалите од силициум карбид (SiC). Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барањеПорозен графит обложен со тантал карбид Semicorex е најновата иновација во технологијата за раст на кристали со силикон карбид (SiC). Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC Coated Susceptor (Tantalum Carbide Coated Susceptor) е високо специјализирана компонента што се користи во производството на полупроводници и други апликации на високи температури. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеЧак за обложување со тантал карбид Semicorex е прецизно дизајнирана компонента дизајнирана за употреба во средини со висока температура и висок стрес. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex CVD TaC Coating Ring е компонента со високи перформанси дизајнирана за тешки апликации кои бараат исклучителна отпорност на абење, термичка стабилност и хемиска инертност. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC тушната глава е суштинска компонента во процесот на епитаксијален раст, специјално дизајнирана да ја подобри униформноста и ефикасноста на таложењето на тенок филм на полупроводничките наполитанки. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање