Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој од тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD).
Тантал карбид (TaC) е соединение кое се состои од тантал и јаглерод. Има метална електрична спроводливост и исклучително висока точка на топење, што го прави огноотпорен керамички материјал познат по својата цврстина, цврстина и отпорност на топлина и абење. Точката на топење на тантал карбидите достигнува максимум на околу 3880°C во зависност од чистотата и има една од највисоките точки на топење меѓу бинарните соединенија. Ова го прави атрактивна алтернатива кога повисоките температурни барања ги надминуваат перформансите што се користат во сложените полупроводнички епитаксијални процеси како што се MOCVD и LPE.
Податоци за материјалот на Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Густина |
14,3 (gm/cm³) |
Емисивност |
0.3 |
CTE (× 10-6/К) |
6.3 |
Цврстина (HK) |
2000 |
Отпор (Ом-см) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена на димензијата на графитот |
-10~-20um (референтна вредност) |
Дебелина на облогата |
≥20um типична вредност (35um±10um) |
|
|
Горенаведените се типични вредности |
|
Semicorex Tantalum Carbide Chuck е напредна компонента што се користи во опремата за производство на полупроводници, позната по своите исклучителни термички и механички својства. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC обложениот прстен е критична компонента која ги задоволува овие тешки барања. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барањеТушот обложен со Semicorex TaC е составен дел на процесот на хемиско таложење на пареа, обезбедувајќи неспоредливи перформанси и долговечност. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барањеЧак обложен со Semicorex TaC претставува значаен напредок во областа на производството на полупроводници. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барањеПорозен графит Semicorex со TaC облога е специјализиран материјал дизајниран да одговори на критичните предизвици во растот на кристалите од силициум карбид (SiC). Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барањеПорозен графит обложен со тантал карбид Semicorex е најновата иновација во технологијата за раст на кристали со силикон карбид (SiC). Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барање