Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој од тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD).
Тантал карбид (TaC) е соединение кое се состои од тантал и јаглерод. Има метална електрична спроводливост и исклучително висока точка на топење, што го прави огноотпорен керамички материјал познат по својата цврстина, цврстина и отпорност на топлина и абење. Точката на топење на тантал карбидите достигнува максимум на околу 3880°C во зависност од чистотата и има една од највисоките точки на топење меѓу бинарните соединенија. Ова го прави атрактивна алтернатива кога повисоките температурни барања ги надминуваат перформансите што се користат во сложените полупроводнички епитаксијални процеси како што се MOCVD и LPE.
Податоци за материјалот на Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Густина |
14,3 (gm/cm³) |
Емисивност |
0.3 |
CTE (× 10-6/К) |
6.3 |
Цврстина (HK) |
2000 |
Отпор (Ом-см) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена на димензијата на графитот |
-10~-20um (референтна вредност) |
Дебелина на облогата |
≥20um типична вредност (35um±10um) |
|
|
Горенаведените се типични вредности |
|
Водич за обложување Semicorex TaC служи како главен дел во опремата за таложење на метално-органска пареа (MOCVD), обезбедувајќи прецизна и стабилна испорака на прекурсорните гасови за време на процесот на епитаксијален раст. Прстенот за водич за обложување TaC претставува низа својства што го прават идеален за издржување на екстремните услови кои се наоѓаат во комората на реакторот MOCVD.**
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC Coating Wafer Chuck стои како врв на иновацијата во процесот на полупроводничка епитаксија, критична фаза во производството на полупроводници. Со нашата посветеност на испорака на производи со врвен квалитет по конкурентни цени, ние сме подготвени да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex MOCVD Susceptor with TaC Coating е најсовремена компонента прецизно изработена за оптимални перформанси во процесите на полупроводничка епитаксија во MOCVD системите. Semicorex е непоколеблива во нашата посветеност за испорака на супериорни производи по високо конкурентни цени. Ние сме желни да воспоставиме трајно партнерство со вас во Кина.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex CVD TaC обложениот прстен владее како критична компонента во полупроводничката обработка, симболизирајќи го зенитот на инженерството на современи материјали. Создаден за имплементација во најригорозните средини каде што владеат прецизноста и сигурноста, овој прстен го отелотворува спојот на најсовремените техники за обложување со еластична наука за материјалите. Semicorex цврсто испорачува производи од највисоко ниво по конкурентни цени и ние со нетрпение очекуваме да воспоставиме долгогодишно партнерство со вас во Кина.*
Прочитај повеќеИспрати барањеСемикорекс TaC обложен планетарен сусцептор е високо специјализирана компонента дизајнирана за употреба во епитаксијалните процеси на производството на полупроводници. Semicorex е посветен на испорака на производи со врвен квалитет по конкурентни цени. Ние сме желни да воспоставиме долгорочно партнерство со вас во Кина.*
Прочитај повеќеИспрати барањеВодичкиот прстен за обложување со тантал карбид Semicorex е напредна компонента специјално дизајнирана за индустријата за полупроводници, која игра клучна улога во растот на кристалите од силициум карбид (SiC). Овој производ е дизајниран да ги задоволи строгите барања на средини со висока температура и висок стрес својствени за процесите на раст на полупроводнички кристали. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барање