Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој од тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD).
Тантал карбид (TaC) е соединение кое се состои од тантал и јаглерод. Има метална електрична спроводливост и исклучително висока точка на топење, што го прави огноотпорен керамички материјал познат по својата цврстина, цврстина и отпорност на топлина и абење. Точката на топење на тантал карбидите достигнува максимум на околу 3880°C во зависност од чистотата и има една од највисоките точки на топење меѓу бинарните соединенија. Ова го прави атрактивна алтернатива кога повисоките температурни барања ги надминуваат перформансите што се користат во сложените полупроводнички епитаксијални процеси како што се MOCVD и LPE.
Податоци за материјалот на Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Густина |
14,3 (gm/cm³) |
Емисивност |
0.3 |
CTE (× 10-6/К) |
6.3 |
Цврстина (HK) |
2000 |
Отпор (Ом-см) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена на димензијата на графитот |
-10~-20um (референтна вредност) |
Дебелина на облогата |
≥20um типична вредност (35um±10um) |
|
|
Горенаведените се типични вредности |
|
Semicorex Tantalum Carbide Halfmoon Part е клучна компонента што се користи во процесот на полупроводничка епитаксија, критична фаза во производството на полупроводнички уреди. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC-Coating Crucible се појави како суштинска алатка во потрагата по висококвалитетни полупроводнички кристали, овозможувајќи напредок во науката за материјали и перформансите на уредите. Уникатната комбинација на својства на TaC-Coating Crucible ги прави идеално прилагодени за тешките средини на процесите на раст на кристалите, нудејќи посебни предности во однос на традиционалните материјали.**
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC обложената цевка претставува врв на науката за материјалите, конструирана да ги издржи екстремните услови кои се среќаваат во напредното производство на полупроводници. Создадена со нанесување на густ, униформен слој од TaC на изотропна подлога од графит со висока чистота преку хемиско таложење на пареа (CVD), TaC обложената цевка нуди привлечна комбинација на својства што ги надминуваат конвенционалните материјали во бараните високи температури и хемиски агресивни средини. **
Прочитај повеќеИспрати барањеПолумесечината обложена со TaC со Semicorex нуди убедливи предности во епитаксијалниот раст на силициум карбид (SiC) за енергетска електроника и RF апликации. Оваа комбинација на материјали се справува со критичните предизвици во епитаксијата на SiC, овозможувајќи повисок квалитет на нафора, подобрена ефикасност на процесот и намалени трошоци за производство. Ние во Semicorex сме посветени на производство и снабдување со TaC-обложена полумесечина со високи перформанси што го спојува квалитетот со економичноста.**
Прочитај повеќеИспрати барањеЗаптивниот прстен обложен со TaC-обложен Semicorex кој се применува на компонентите за заптивање обезбедува исклучителни предности во изведбата во тешките средини на производство на полупроводници. Облогата TaC се справува со критичните предизвици поврзани со хемиската отпорност, екстремните температури и механичкото абење, овозможувајќи повисоки приноси во процесот, зголемено време на работа на опремата и на крајот, пониски трошоци за производство. Ние во Semicorex сме посветени на производство и снабдување со TaC-обложени заптивки со високи перформанси, кој го спојува квалитетот со економичноста.**
Прочитај повеќеИспрати барањеСусцепторот обложен со тантал карбид Semicorex е критична компонента, која игра клучна улога во процесите на таложење есенцијални за создавање на полупроводнички наполитанки. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барање