Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој од тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD).
Тантал карбид (TaC) е соединение кое се состои од тантал и јаглерод. Има метална електрична спроводливост и исклучително висока точка на топење, што го прави огноотпорен керамички материјал познат по својата цврстина, цврстина и отпорност на топлина и абење. Точката на топење на тантал карбидите достигнува максимум на околу 3880°C во зависност од чистотата и има една од највисоките точки на топење меѓу бинарните соединенија. Ова го прави атрактивна алтернатива кога повисоките температурни барања ги надминуваат перформансите што се користат во сложените полупроводнички епитаксијални процеси како што се MOCVD и LPE.
Податоци за материјалот на Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Густина |
14,3 (gm/cm³) |
Емисивност |
0.3 |
CTE (× 10-6/К) |
6.3 |
Цврстина (HK) |
2000 |
Отпор (Ом-см) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена на димензијата на графитот |
-10~-20um (референтна вредност) |
Дебелина на облогата |
≥20um типична вредност (35um±10um) |
|
|
Горенаведените се типични вредности |
|
Заптивниот прстен обложен со TaC-обложен Semicorex кој се применува на компонентите за заптивање обезбедува исклучителни предности во изведбата во тешките средини на производство на полупроводници. Облогата TaC се справува со критичните предизвици поврзани со хемиската отпорност, екстремните температури и механичкото абење, овозможувајќи повисоки приноси во процесот, зголемено време на работа на опремата и на крајот, пониски трошоци за производство. Ние во Semicorex сме посветени на производство и снабдување со TaC-обложени заптивки со високи перформанси, кој го спојува квалитетот со економичноста.**
Прочитај повеќеИспрати барањеСусцепторот обложен со тантал карбид Semicorex е критична компонента, која игра клучна улога во процесите на таложење есенцијални за создавање на полупроводнички наполитанки. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Tantalum Carbide Chuck е напредна компонента што се користи во опремата за производство на полупроводници, позната по своите исклучителни термички и механички својства. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC обложениот прстен е критична компонента која ги задоволува овие тешки барања. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барањеТушот обложен со Semicorex TaC е составен дел на процесот на хемиско таложење на пареа, обезбедувајќи неспоредливи перформанси и долговечност. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барањеЧак обложен со Semicorex TaC претставува значаен напредок во областа на производството на полупроводници. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина*.
Прочитај повеќеИспрати барање