Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој од тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD).
Тантал карбид (TaC) е соединение кое се состои од тантал и јаглерод. Има метална електрична спроводливост и исклучително висока точка на топење, што го прави огноотпорен керамички материјал познат по својата цврстина, цврстина и отпорност на топлина и абење. Точката на топење на тантал карбидите достигнува максимум на околу 3880°C во зависност од чистотата и има една од највисоките точки на топење меѓу бинарните соединенија. Ова го прави атрактивна алтернатива кога повисоките температурни барања ги надминуваат перформансите што се користат во сложените полупроводнички епитаксијални процеси како што се MOCVD и LPE.
Податоци за материјалот на Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Густина |
14,3 (gm/cm³) |
Емисивност |
0.3 |
CTE (× 10-6/К) |
6.3 |
Цврстина (HK) |
2000 |
Отпор (Ом-см) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена на димензијата на графитот |
-10~-20um (референтна вредност) |
Дебелина на облогата |
≥20um типична вредност (35um±10um) |
|
|
Горенаведените се типични вредности |
|
Прстенот обложен со тантал карбид Semicorex е клучна компонента што се користи во полупроводничка обработка. Дизајниран е со специјализирана обвивка која служи повеќе функции за подобрување на ефикасноста и долговечноста на графитните компоненти во полупроводничките машини. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеГрафитните делови обложени со Semicorex TaC се прецизно изработени компоненти кои се специјално дизајнирани да ја издржат напорната средина на полупроводничка обработка. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC Coating Graphite Cover претставува врвно решение во доменот на термички апликации за раст на кристалите и епитаксијални (epi) процеси. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеПрстенот за обложување Semicorex TaC стои како клучна компонента во областа на монокристалниот раст во термичкото поле. Изработен со прецизност и иновација, овој специјализиран прстен за водич игра клучна улога во сложениот процес на производство на монокристален материјал. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC обложен нафора е клучна компонента што се користи во печките за метално-органско хемиско таложење на пареа (MOCVD) за полупроводничка епитаксијална (epi) обработка. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеПлоча обложена со тантал карбид Semicorex TaC е најсовремено решение дизајнирано да ги задоволи строгите барања на производството на полупроводници, особено во фазата на епитаксијална (епи) обработка. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање