Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој од тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD).
Тантал карбид (TaC) е соединение кое се состои од тантал и јаглерод. Има метална електрична спроводливост и исклучително висока точка на топење, што го прави огноотпорен керамички материјал познат по својата цврстина, цврстина и отпорност на топлина и абење. Точката на топење на тантал карбидите достигнува максимум на околу 3880°C во зависност од чистотата и има една од највисоките точки на топење меѓу бинарните соединенија. Ова го прави атрактивна алтернатива кога повисоките температурни барања ги надминуваат перформансите што се користат во сложените полупроводнички епитаксијални процеси како што се MOCVD и LPE.
Податоци за материјалот на Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Густина |
14,3 (gm/cm³) |
Емисивност |
0.3 |
CTE (× 10-6/К) |
6.3 |
Цврстина (HK) |
2000 |
Отпор (Ом-см) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена на димензијата на графитот |
-10~-20um (референтна вредност) |
Дебелина на облогата |
≥20um типична вредност (35um±10um) |
|
|
Горенаведените се типични вредности |
|
Прстен водич со обложен Semicorex TaC, врв на иновацијата во печките за раст со еднокристал SiC (силициум карбид). Прецизно дизајниран да ги задоволи строгите барања на индустријата за полупроводници, овој водич прстен ветува дека ќе ги редефинира процесите на растење на вашите кристали со неспоредлива прецизност и сигурност.
Прочитај повеќеИспрати барањеНајсовремен Graphite Susceptor со TaC обложен Semicorex, револуционерна компонента дизајнирана да го подигне вашиот процес на епитаксија на нафора до нови височини на ефикасност и прецизност. Создаден со неспоредлива експертиза и со користење на најсовремена технологија, Semicorex TaC обложен графит сусцептор е дизајниран да ги задоволи строгите барања на производството на полупроводници.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex обезбедува висококвалитетни графитни делови обложени со тантал карбид со приспособена услуга. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex обезбедува танталум карбид обложен графит сусцептор со приспособена услуга. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеПорозен графит обложен со Semicorex TaC, е напреден материјал со висока чистота за полупроводничка обработка. Овој клучен дел од опремата игра клучна улога во процесот на раст на SiC со еден кристал. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеКако професионално производство, би сакале да ви обезбедиме прстени обложени со TaC. Ви го претставуваме CVD Tac Coated Ring, најсовремено решение за полупроводничка опрема. Овој најсовремен производ може да се пофали со напредна обвивка за таложење на пареа (CVD) која обезбедува исклучителна издржливост и отпорност на абење и кинење.
Прочитај повеќеИспрати барање