Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој од тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD).
Тантал карбид (TaC) е соединение кое се состои од тантал и јаглерод. Има метална електрична спроводливост и исклучително висока точка на топење, што го прави огноотпорен керамички материјал познат по својата цврстина, цврстина и отпорност на топлина и абење. Точката на топење на тантал карбидите достигнува максимум на околу 3880°C во зависност од чистотата и има една од највисоките точки на топење меѓу бинарните соединенија. Ова го прави атрактивна алтернатива кога повисоките температурни барања ги надминуваат перформансите што се користат во сложените полупроводнички епитаксијални процеси како што се MOCVD и LPE.
Податоци за материјалот на Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Густина |
14,3 (gm/cm³) |
Емисивност |
0.3 |
CTE (× 10-6/К) |
6.3 |
Цврстина (HK) |
2000 |
Отпор (Ом-см) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена на димензијата на графитот |
-10~-20um (референтна вредност) |
Дебелина на облогата |
≥20um типична вредност (35um±10um) |
|
|
Горенаведените се типични вредности |
|
Semicorex TaC Coating Jig стои како клучна компонента во процесот на производство на полупроводници, прецизно изработен од графит и збогатен со еластичен слој на облога од тантал карбид. Овој клучен елемент на опремата го отелотворува спојот на најсовремената наука за материјалите и прецизното инженерство, дизајнирани да ги задоволат строгите оперативни барања и строгите стандарди кои преовладуваат во производството на полупроводници. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC Coating Susceptor претставува врв во материјалното инженерство, прецизно изработен од висококвалитетен графит и збогатен со облога од тантал карбид. Оваа иновативна компонента е првенствено дизајнирана за вработување во рамките на растот на кристалот на SiC и епитаксијалните процеси на SiC, а претставува светилник за издржливост и перформанси во екстремни топлински и хемиски средини. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеПрстенот обложен со тантал карбид Semicorex е клучна компонента што се користи во полупроводничка обработка. Дизајниран е со специјализирана обвивка која служи повеќе функции за подобрување на ефикасноста и долговечноста на графитните компоненти во полупроводничките машини. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеГрафитните делови обложени со Semicorex TaC се прецизно изработени компоненти кои се специјално дизајнирани да ја издржат напорната средина на полупроводничка обработка. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex TaC Coating Graphite Cover претставува врвно решение во доменот на термички апликации за раст на кристалите и епитаксијални (epi) процеси. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеПрстенот за обложување Semicorex TaC стои како клучна компонента во областа на монокристалниот раст во термичкото поле. Изработен со прецизност и иновација, овој специјализиран прстен за водич игра клучна улога во сложениот процес на производство на монокристален материјал. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање