Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој од тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD).
Тантал карбид (TaC) е соединение кое се состои од тантал и јаглерод. Има метална електрична спроводливост и исклучително висока точка на топење, што го прави огноотпорен керамички материјал познат по својата цврстина, цврстина и отпорност на топлина и абење. Точката на топење на тантал карбидите достигнува максимум на околу 3880°C во зависност од чистотата и има една од највисоките точки на топење меѓу бинарните соединенија. Ова го прави атрактивна алтернатива кога повисоките температурни барања ги надминуваат перформансите што се користат во сложените полупроводнички епитаксијални процеси како што се MOCVD и LPE.
Податоци за материјалот на Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Густина |
14,3 (gm/cm³) |
Емисивност |
0.3 |
CTE (× 10-6/К) |
6.3 |
Цврстина (HK) |
2000 |
Отпор (Ом-см) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена на димензијата на графитот |
-10~-20um (референтна вредност) |
Дебелина на облогата |
≥20um типична вредност (35um±10um) |
|
|
Горенаведените се типични вредности |
|
Semicorex TaC обложен нафора е клучна компонента што се користи во печките за метално-органско хемиско таложење на пареа (MOCVD) за полупроводничка епитаксијална (epi) обработка. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеПлоча обложена со тантал карбид Semicorex TaC е најсовремено решение дизајнирано да ги задоволи строгите барања на производството на полупроводници, особено во фазата на епитаксијална (епи) обработка. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеПрстен водич со обложен Semicorex TaC, врв на иновацијата во печките за раст со еднокристал SiC (силициум карбид). Прецизно дизајниран да ги задоволи строгите барања на индустријата за полупроводници, овој водич прстен ветува дека ќе ги редефинира процесите на растење на вашите кристали со неспоредлива прецизност и сигурност.
Прочитај повеќеИспрати барањеНајсовремен Graphite Susceptor со TaC обложен Semicorex, револуционерна компонента дизајнирана да го подигне вашиот процес на епитаксија на нафора до нови височини на ефикасност и прецизност. Создаден со неспоредлива експертиза и со користење на најсовремена технологија, Semicorex TaC обложен графит сусцептор е дизајниран да ги задоволи строгите барања на производството на полупроводници.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex обезбедува висококвалитетни графитни делови обложени со тантал карбид со приспособена услуга. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex обезбедува танталум карбид обложен графит сусцептор со приспособена услуга. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање