Кина Специјализиран графит Производители, добавувачи, фабрика

Специјализираниот графит е еден вид вештачки графит што се обработува. Тоа е важен материјал кој е неопходен во сите аспекти на полупроводнички и фотоволтаичен процес на производство, вклучително и раст на кристалот, јонска имплантација, епитакси, итн.

1. Силикон карбид (SIC) раст на кристалот

Силикон карбид, како полупроводнички материјал од трета генерација, се користи во нови енергетски возила, 5G комуникации и други полиња. Во процесот на раст на кристалот од 6-инчен и 8-инчен SIC, изостатичкиот графит првенствено се користи за производство на следниве компоненти на клучот:

Графит Кручит: Ова може да се користи за синтетизирање на SIC во прав за прав и исто така да помогне во растот на кристалот на високи температури. Неговата висока чистота, отпорност на висока температура и отпорност на термички шок обезбедуваат стабилна околина за раст на кристалот.

Графит грејач: Ова обезбедува униформа дистрибуција на топлина, обезбедувајќи висококвалитетен раст на кристалот SIC.

Изоларна цевка: Ова ја одржува температурната униформност во рамките на печката за раст на кристалот и го намалува загубата на топлина.

2. Iонска имплантација

Јонската имплантација е клучен процес во производството на полупроводници. Изостатичкиот графит првенствено се користи за производство на следниве компоненти во јонски импланти:

Графит добитник: Ова апсорбира нечистотии јони во јонскиот зрак, обезбедувајќи јонска чистота.

Прстен за фокусирање на графит: Ова го фокусира јонскиот зрак, подобрувајќи ја точноста и ефикасноста на јонскиот имплантација. Постави за графит подлога: Се користи за поддршка на силиконските нафора и одржување на стабилност и конзистентност за време на јонската имплантација.

3. Епитаксиски процес

Процесот на епитакси е клучен чекор во производството на уреди со полупроводници. Изостатско притиснат графит првенствено се користи за производство на следниве компоненти во печки за епитакси:

Графитски ленти и подложни: Се користи за поддршка на силиконски нафора, обезбедување стабилна поддршка и униформа спроводливост на топлина за време на процесот на епитаксијата.

4. Други апликации за производство на полупроводници

Изостатско притиснат графит е исто така широко користен во следниве апликации за производство на полупроводници:

Процес на гравирање: Се користи за производство на графитни електроди и заштитни компоненти за етрите. Неговата отпорност на корозија и високата чистота обезбедуваат стабилност и прецизност во процесот на гравирање.

Депонирање на хемиска пареа (CVD): Се користи за производство на графитни ленти и грејачи во рамките на печките CVD. Неговата висока термичка спроводливост и отпорност на висока температура обезбедуваат униформа таложење на тенок филм.

Тестирање на пакување: Се користи за производство на тестови за тестови и ленти за носачи. Неговата висока прецизност и ниска контаминација обезбедуваат точни резултати од тестот.

Предности на делови од графит

Висока чистота:

Користејќи ја високо-чистота изостатично притиснато графитски материјал со екстремно ниска содржина на нечистотии, ги исполнува строгите барања за чистота на материјалот за производство на полупроводници. Сопствената печка за прочистување на компанијата може да го прочисти графитот до под 5ppm.

Висока прецизност:

Со напредна опрема за обработка и зрела технологија за обработка, се осигурува дека димензионалната точност и формата и толеранциите на позицијата го достигнуваат нивото на микрони.

Високи перформанси:

Производот има одлична отпорност на висока температура, отпорност на корозија, отпорност на зрачење, висока топлинска спроводливост и други својства, исполнувајќи ги различните груби услови за работа на производство на полупроводници.

Прилагодена услуга:

Услуги за прилагодување на дизајнирање и обработка на производи може да се обезбедат според потребите на клиентите за да ги задоволат потребите на различни сценарија за апликации.

Видови на графитни производи

(1) Изостатски графит
Изостатичките графитни производи се произведуваат со ладно изостатичко притискање. Во споредба со другите методи на формирање, крстовите произведени од овој процес имаат одлична стабилност. Графитските производи потребни за единечни кристали SIC се големи во големина, што ќе доведе до нерамна чистота на површината и во внатрешноста на графитските производи, кои не можат да ги исполнат барањата за употреба. Со цел да се исполнат барањата за длабоки прочистување на големите графитни производи потребни за SIC единечни кристали, треба да се донесе уникатен процес на прочистување на термохемиска пулс со висока температура за да се постигне длабоко и униформно прочистување на големи или специјални обликувани графитни производи, така што чистотата на површината на производот и јадрото може да ги исполни барањата за употреба.

(2) порозен графит
Порозен графит е еден вид графит со висока порозност и мала густина. Во процесот на раст на кристалот SIC, порозниот графит игра значајна улога во подобрувањето на униформноста на масовното пренесување, намалувајќи ја стапката на појава на промена на фазата и подобрување на обликот на кристалот.
Употребата на порозен графит ја подобрува температурата и температурната униформност на областа на суровината, ја зголемува аксијалната температурна разлика во садот, а исто така има одреден ефект врз слабеењето на рекристализацијата на површината на суровината; Во комората за раст, порозниот графит ја подобрува стабилноста на протокот на материјал во текот на процесот на раст, го зголемува односот C/Si на областа на растот, помага да се намали веројатноста за промена на фазата, а во исто време, порозниот графит исто така игра улога во подобрување на кристалниот интерфејс.

(3) се чувствуваше
Мекото чувство и тешко се чувствуваше и ја играат улогата на важни материјали за термичка изолација во растот на кристалот SIC и епитаксијалните врски.

(4) Графитна фолија
Графитната хартија е функционален материјал изработен од графит со високо-јаглеродна снегулка преку хемиски третман и тркалање со висока температура. Има висока топлинска спроводливост, електрична спроводливост, флексибилност и отпорност на корозија.

(5) композитни материјали
Термичкото поле на јаглерод-јаглерод е едно од основните потрошни материјали во производството на фотоволтаична единечна кристална печка.

Производство на Semicorex

Semicorex Направете графит со мали серии, прилагодени методи на производство. Производството на мали серии ги прави производите поконтролирани. Целиот процес е контролиран од програмибилни контролори на логика (PLCs), беа снимени деталните податоци за процесот, овозможувајќи целосна следливост на животниот циклус.

Во текот на целиот процес на печење, конзистентноста се постигна во отпорност на различни локации и се одржува тесната контрола на температурата. Ова обезбедува хомогеност и сигурност на графитните материјали.

Semicorex ја користи целосно изостатичката технологија за притискање, што е различно од другите добавувачи; Тоа значи дека графитот е ултра униформа и е докажана особено важна во епитаксичните процеси. Беа спроведени сеопфатни тестови за униформност на материјалот, вклучувајќи густина, отпорност, цврстина, јачина на свиткување и сила во различни примероци.