Запечатувачки прстен обложен со TaC

Заптивниот прстен обложен со TaC-обложен Semicorex кој се применува на компонентите за заптивање обезбедува исклучителни предности во изведбата во тешките средини на производство на полупроводници. Облогата TaC се справува со критичните предизвици поврзани со хемиската отпорност, екстремните температури и механичкото абење, овозможувајќи повисоки приноси во процесот, зголемено време на работа на опремата и на крајот, пониски трошоци за производство. Ние во Semicorex сме посветени на производство и снабдување со TaC-обложени заптивки со високи перформанси, кој го спојува квалитетот со економичноста.**

Испрати барање

Опис на производот

Запечатувачкиот прстен обложен со TaC-полукорекс покажува извонредна инертност кон широк опсег на корозивни гасови и хемикалии употребени во полупроводнички процеси, вклучително и плазма хемикалии (на пр., флуор, хлор, бром), допанти (на пр., бор, фосфор), средства за чистење. Оваа инертност спречува деградација на заптивките и контаминација на чувствителните процесни комори.

И со точка на топење што надминува 3800°C, заптивниот прстен обложен со TaC го одржува својот структурен интегритет и механичка цврстина на покачените температури што се среќаваат при обработката на обландата. Ова обезбедува сигурни перформанси на запечатување за време на процесите на жарење, таложење и офорт на висока температура.

Екстремната цврстина и нискиот коефициент на триење на заптивниот прстен обложен со TaC обезбедуваат исклучителна отпорност на абење, гребење и триење. Ова е критично во апликациите за динамичко запечатување каде што повтореното движење или контакт со наполитанки и други компоненти може да доведе до создавање честички и дефект на заптивките.

Заптивниот прстен обложен со TaC покажува многу ниски стапки на испуштање гасови, дури и при покачени температури, што го прави идеален за апликации со висок вакуум. Ова обезбедува чистота на процесот и спречува таложење на несакани загадувачи на чувствителните површини на нафора.

Специфични придобивки во апликациите за полупроводници:

Продолжен животен век на пломбите:Заптивниот прстен обложен со TaC значително го зголемува животниот век на заптивката обезбедувајќи супериорна отпорност на хемиски напад, термичка деградација и механичко абење. Ова ја намалува зачестеноста на замените на заптивките, минимизирајќи ги времето на прекин и трошоците за одржување.

Подобрен принос на процесот и квалитет на нафора:Инертната природа на заптивниот прстен обложен со TaC го минимизира создавањето и контаминацијата на честички, што доведува до повисоки приноси во процесот и подобрен квалитет на нафора. Ова е критично за производство на полупроводнички уреди со високи перформанси со строги толеранции на дефекти.

Подобрено време на работа и продуктивност на опремата:Подолгиот век на заптивките и намалените барања за одржување придонесуваат за зголемено време на работа на опремата и севкупна продуктивност. Ова е клучно за максимизирање на излезот и задоволување на барањата на производството на полупроводници со голем волумен.