Графитни делови обложени со тантал карбид

Графитните делови обложени со тантал карбид играат клучна улога во процесите на производство на полупроводници, каде што прецизноста, сигурноста и отпорноста на суровите услови се најважни. Овие специјално обработени компоненти, вклучително и прстени за гравирање и садници, се дизајнирани да ги издржат предизвикувачките средини што се среќаваат при производството на полупроводници.

Графитните делови обложени со тантал карбид како што се прстените за офорт се критични компоненти што се користат во полупроводничката индустрија за процеси како хемиско таложење на пареа (CVD) и физичко таложење на пареа (PVD). Овие прстени доаѓаат во директен контакт со реактивни гасови и средини со висока температура за време на процесот на офорт.

Графитните делови обложени со тантал карбид се обложени со тенок слој од тантал карбид. Овој слој обезбедува исклучителна отпорност на абење и заштита од корозивни хемикалии, обезбедувајќи долговечност и постојани перформанси.

Облогата со тантал карбид ја подобрува цврстината и хемиската стабилност на прстените за офорт, спречувајќи деградација и контаминација. Исто така, придонесува за униформни резултати на офорт и продолжен работен век.