MOCVD Susceptor со TaC облога

Semicorex MOCVD Susceptor with TaC Coating е направен од внимателно одбран графит, избран поради неговите исклучителни својства за да обезбеди високи перформанси и издржливост. Графитот е познат по својата одлична топлинска и електрична спроводливост, како и неговата способност да ги издржи високите температури типични за MOCVD процесите. Клучната карактеристика на овој MOCVD Susceptor лежи во неговата TaC обвивка. Тантал карбид е огноотпорен керамички материјал познат по својата исклучителна цврстина, хемиска инертност и термичка стабилност. Со обложување на графитниот сензор со TaC, постигнуваме компонента која не само што ги издржува тешките услови на процесите на MOCVD, туку и ги подобрува севкупните перформанси и издржливоста на системот.

MOCVD Susceptor со TaC облога обезбедува силна врска помеѓу облогата и графитната подлога. Внимателниот избор на графит игра клучна улога во ова. Коефициентот на термичка експанзија (CTE) на избраниот графит што се користи во нашиот MOCVD Susceptor со TaC облога тесно се совпаѓа со оној на TaC облогата. Оваа блиска совпаѓање во вредностите на CTE ги минимизира топлинските напрегања што може да се појават за време на брзите циклуси на загревање и ладење типични за MOCVD процесите. Како резултат на тоа, облогата TaC поцврсто се прилепува на графитната подлога, што значително го подобрува механичкиот интегритет и животниот век на подлогата.

MOCVD Susceptor со TaC слој е многу издржлив и може да ги издржи механичките напрегања и тешките услови на процесот MOCVD без да се деградира. Оваа издржливост е од суштинско значење за одржување на прецизната геометрија и квалитетот на површината потребни за епитаксијален раст со висок принос. Цврстата обвивка TaC, исто така, го продолжува работниот век на подлогата, намалувајќи ја фреквенцијата на замените и намалувајќи ги вкупните трошоци за поседување систем MOCVD.

Термичката стабилност на TaC му овозможува на MOCVD Susceptor со TaC Coating да работи на високи температури неопходни за ефикасни MOCVD процеси. Ова значи дека MOCVD Susceptor со TaC облога може да поддржи широк опсег на процеси на таложење, од раст на GaN при ниска температура до епитаксија на SiC на висока температура, што го прави вредна компонента за производителите на полупроводници кои сакаат да ги оптимизираат своите MOCVD системи за различни апликации.

Semicorex MOCVD Susceptor со TaC облога претставува значаен напредок во полупроводничката епитаксија. Со комбинирање на својствата на графитот и TaC, развивме чувствител кој не само што ги задоволува, туку и ги надминува барањата на современите MOCVD процеси. Тесно усогласените коефициенти на термичка експанзија (CTE) помеѓу графитната подлога и облогата TaC обезбедуваат силна врска, додека исклучителната цврстина, хемиската инертност и термичката стабилност на TaC обезбедуваат неспоредлива заштита и издржливост. Ова резултира со сусцептор кој обезбедува супериорни перформанси, го подобрува квалитетот на епитаксијалниот раст и го продолжува работниот век на MOCVD системите. Производителите на полупроводници можат да се потпрат на нашиот MOCVD Susceptor со TaC слој за да постигнат повисоки приноси, помали трошоци и поголема флексибилност на процесот, што го прави суштинска компонента во потрагата по технолошки иновации и извонредност во производството на полупроводници.