Водички прстени обложени со тантал карбид

Водечките прстени обично се инсталираат над графитниот сад во рамките на системот за термичко поле. Тие работат заедно со садот, грејачот и цилиндарот за топлинска изолација и другите полупроводнички компоненти за да ја водат и контролираат дистрибуцијата на топлина и процесните гасови.

Апредностина Тантал карбид слој

Познат по супериорните перформанси наTaC облогаво третата генерација полупроводнички еднокристални апликации за раст, облогата со тантал карбид ги нуди следните предности:

1. Исклучителна термичка стабилност

Тантал карбид има одлична термичка отпорност, со ултра висока точка на топење од 3880℃. Имајќи ја оваа исклучителна термичка стабилност, водечките прстени обложени со тантал карбид Semicorex може стабилно да се користат во средини со висока температура под 2500℃. Дополнително, комбинацијата на овие два материјали ги минимизира ризиците од пукање и лупење на облогата предизвикани од температурни промени, што значително го овозможува структурниот интегритет на компонентата при повторени процеси на загревање и ладење.

2. Извонредна отпорност на корозија

Тантал карбидот има извонредна отпорност на корозија и отпорност на оксидација и е хемиски инертен за повеќето реактивни гасови како што се амонијак, водород и силициум. Поради оваа хемиска стабилност, водечките прстени обложени со тантал карбид Semicorex ефикасно ги спречуваат реактивните гасови да ја еродираат матрицата и да го оштетат нивниот структурен интегритет, истовремено избегнувајќи го ризикот од контаминација од реактантите и нечистотиите кои влегуваат во кристалната структура.

Перформансите на Водичките прстени обложени со тантал карбид Semicorex

СемикорексВодечки прстени обложени со тантал карбидкористете графит со висока чистота како матрица и ставете го TaC облогата на површината преку CVD технологијата. Комбинацијата на овие два материјали им овозможува на водечките прстени обложени со тантал карбид Semicorex ги даваат следните предности:

1. Водење на протокот на гас и оптимизација на полето на проток

За време на растот на кристалите, употребата на водечки прстени помага во оптимизирање на дистрибуцијата на протокот во термичкото поле и ги насочува реактивните гасови кон контролирана насока на проток и униформа дистрибуција. Благодарение на нивниот специјален структурен дизајн, водечките прстени обложени со тантал карбид Semicorex можат да го водат гасот да тече и рамномерно да се дистрибуира, што ефикасно ги избегнува претерано високите или ниските локални концентрации на гас.

2. Температурна регулација и оптимизација на термичко поле

Водечките прстени обложени со тантал карбид Semicorex покажуваат супериорна топлинска спроводливост, играјќи клучна улога во помагањето да се регулира распределбата на температурата и да се обезбеди стабилно температурно поле за раст на кристалите. На пример, водечките прстени обложени со тантал карбид Semicorex може да помогнат во одржувањето на температурниот градиент во PVT растот на кристалите на силициум карбид, обезбедувајќи материјалите да се распаѓаат, транспортираат и кристализираат под соодветни услови.