Semicorex порозна тантал карбид керамика е порозна керамика со високи перформанси, дизајнирана специјално во процесот на транспорт на физичка пареа (PVT). Неговата посебна порозна структура и одличните својства играат важна улога во олеснувањето на висококвалитетниот раст на кристалите од силициум карбид. Со избирање на Semicorex, ќе добиете идеални порозни керамички решенија со постојан квалитет и стабилни перформанси за напредно производство на полупроводници.
Semicorex порозна тантал карбид керамика е ултра-високотемпературен керамички материјал со точка на топење околу 3880℃, кој може да одржува стабилни перформанси во предизвикувачки работни средини со висока температура и висока корозија благодарение на следните одлични карактеристики на изведба.
Максималната работна температура на Semicorex порознатантал карбид керамикаможе да биде до 3200℃ и може да работи стабилно во услови на раст на кристалите на силициум карбид на висока температура долго време без никаква деформација или омекнување.
Порозната керамика од тантал карбид Semicorex покажува подобра отпорност на корозија и отпорност на оксидација од конвенционалната керамика. Може ефикасно да ја издржи корозијата на високотемпературниот кислород и Si пареата во процесот на раст на кристалите.
Порозната керамика со тантал карбид Semicorex има рамномерно распоредени внатрешни пори, со порозност помеѓу 10-60% (приспособливо) и стапка на пробивање на порите од над 98%. Оваа специјална структура им овозможува на елементите од фазата на пареа како Si и C да течат и непречено да се дифузираат внатре во печката за раст на кристалите, што во голема мера го олеснува растот на висококвалитетните кристали.
За време на растот на кристалите на силициум карбид преку PVT процесот, порозната керамика од тантал карбид Semicorex функционира првенствено во филтрација на елементот во фаза на пареа, регулација на градиентот на температурата на печката и водење на протокот на гасниот материјал. Различно од конвенционалните порозни графитни материјали обложени со TaC, керамиката Semicorex порозна тантал карбид покажува посебни предности: ја елиминира порознатаГрафит обложен со TaCНедостаток на материјалите од ниската стапка на пробивање на порите предизвикана од обработката на облогата, притоа избегнувајќи ја болната точка на лупењето на облогата на порозните TaC обложени графитни материјали. Со користење на порозна керамика со тантал карбид Semicorex, можете ефикасно да ги спречите дефектите на вклучување на јаглерод во растот на кристалите на силициум карбид, а со тоа значително да го подобрите квалитетот на растот на кристалите и приносот на производот.