Semicorex е ваш партнер за подобрување во полупроводничката обработка. Нашите премази од силициум карбид се густи, високи температури и хемиски отпорни, кои често се користат во целиот циклус на производство на полупроводници, вклучително и обработка на полупроводнички нафора и нафора и производство на полупроводници.
СиЦ керамичките компоненти со висока чистота се клучни за процесите во полупроводниците. Нашата понуда се движи од делови за потрошен материјал за опрема за обработка на нафора, како што се чамец со нафора од силикон карбид, лопатки со конзоли, цевки, итн за Epitaxy или MOCVD.
Предности за полупроводнички процеси
Фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксијата или MOCVD, или обработката на обланда, како што е офорт или јонски имплант, мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење. Семикорекс обезбедува конструкција со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина и издржлива хемиска отпорност, дури и термичка униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи.
Капаци на комората →
Капаците на комората што се користат за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење.
Конзолна лопатка →
Конзолната лопатка е клучна компонента што се користи во процесите на производство на полупроводници, особено во дифузните или LPCVD печките за време на процеси како дифузија и RTP.
Процесна цевка →
Process Tube е клучна компонента, специјално дизајнирана во различни апликации за обработка на полупроводници како што се RTP, дифузија.
Чамци со нафора →
Wafer Boat се користи во полупроводничка обработка, тој е прецизно дизајниран за да се осигура дека деликатните наполитанки се чуваат безбедни за време на критичните фази на производство.
Влезни прстени →
Влезен прстен за гас обложен со SiC со опрема MOCVD Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремна средина.
Фокус прстен →
Semicorex го снабдува Фокусниот прстен обложен со силикон карбид е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Чак за нафора →
Семикорекс ултра рамните керамички вакуумски нафора се обложени со висока чистота SiC кои се користат во процесот на ракување со нафора.
Semicorex исто така има керамички производи во Алумина (Al2O3), силикон нитрид (Si3N4), алуминиум нитрид (AIN), цирконија (ZrO2), композитна керамика итн.
Semicorex CVD SIC Edge Ring е компонента со високи перформанси во плазма, дизајнирана за подобрување на униформноста на гравирање и заштита на рабовите на нафта во производството на полупроводници. Изберете Semicorex за неспоредлива материјална чистота, прецизно инженерство и докажана сигурност во напредните опкружувања во процесите на плазма.*
Прочитај повеќеИспрати барањеCrucibles на Semicorex PBN се ултра-висока чистота, хемиски инертни контејнери идеални за високо-температурни и вакуумски апликации. Изберете Semicorex за неспоредлив квалитет на материјалот, прецизно инженерство и стручна поддршка што ја веруваат во лидерите во индустријата ширум светот.*
Прочитај повеќеИспрати барањеСопирачките на керамички сопирачки на јаглерод се крајно решение за сопирање за апликации со високи перформанси. Изберете Semicorex за неспоредлива експертиза за материјали, прецизно производство и докажана сигурност што им ја веруваат водечките ОЕМ ширум светот.*
Прочитај повеќеИспрати барањеГрејачите на нитрид на алуминиум на Semicorex се елементи со керамичко греење со високи перформанси познати по нивната исклучителна термичка спроводливост, брз одговор и електрична изолација. Избор на Semicorex значи партнерство со доверлив експерт за напредни керамички технологии-давање решенија со прецизно инженерство, постојан квалитет и одговорна техничка поддршка прилагодена на вашите потреби за апликација.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex 4-инчни SIC чамци се носачи на нафта со високи перформанси дизајнирани за супериорна термичка и хемиска стабилност во производството на полупроводници. Доверлив од лидерите во индустријата, Semicorex комбинира експертиза за напредни материјали со прецизно инженерство за испорака на производи кои го зголемуваат приносот, сигурноста и оперативната ефикасност.*
Прочитај повеќеИспрати барањеГрејачите на Semicorex ALN се напредни елементи за греење врз основа на керамика, дизајнирани за термички апликации со високи перформанси. Овие грејачи нудат исклучителна термичка спроводливост, електрична изолација и отпорност на хемиски и механички стрес, што ги прави идеални за барање на индустриски и научни апликации. Грејачите на АЛН обезбедуваат прецизно и униформно греење, обезбедувајќи ефикасно термичко управување во околини за кои е потребна голема сигурност и издржливост.*
Прочитај повеќеИспрати барање