Sic капаче

Semicorex SIC капакот е витален дел кој е дизајниран специјално за обработка на полупроводници. Тој е дизајниран за најтешките околини во апликациите за епитакси, јонски импланти и високо-температура. Произведен е од ултра-чиста силиконска карбид кој има исклучително стабилни својства на материјалот и инженерска прецизност. Долгорочната конзистентност, издржливост и чистота се клучните причини за избор на Semicorex SIC капакот за употреба во напредни процеси на изработка на полупроводници.

Силикон карбид (sic)има низа својства кои се уникатни во споредба со традиционалните керамика или метални материјали. Една од главните предности на SIC е неговата отпорност на високи температури. SIC може да го задржи својот структурен интегритет и механичка стабилност - за долги временски периоди дури и на покачени температури. Ова го прави SIC идеално за процеси како што се таложење на хемиска пареа (CVD) епитакси или високо-енергетска јонска имплантација. Металите и пластиката би деформирале, оксидираат или загадуваат на екстремни температури, додека SIC ќе ја одржи својата димензионална стабилност и нема позитивно да комуницира со нафорите што се обработуваат.

Хемиската отпорност е уште една карактеристична карактеристика на SIC капаците. Во обработката на полупроводници, околината со кои може да се сретнете со корозивни гасови, плазма или реактивни хемикалии не се невообичаени. Во тие сценарија, површината на SIC ќе обезбеди инертен бариера за да се спротивстави на оние загадувачи да ја деградираат површината со текот на времето, што резултира во подолг ефикасен живот. Оваа долговечност е еднаква на намалените трошоци за одржување, намалената опрема за време и повторливоста во продолжените циклуси на процеси. Овие фактори го прават капакот на SIC подобра опција за FABS за кои е потребно континуирано, високо производство во споредба со традиционалните материјали.

Исто како и хемиската отпорност, чистотата е исто така најголема во примената на полупроводникот. Присуството на загадувачи во трагови може да има негативно влијание врз перформансите на уредот и приносот. SIC капакот е направен од силиконски карбидни материјали со висока чистота, што ја исклучува можноста за метални нечистотии што се влеваат во околината на процесот. Покрај тоа, гарантирано е да биде што е можно чисто и стабилно, како што се однесува на загадувачи и надворешни сили кои влијаат на перформансите на капакот, што е клучно во исполнувањето на денешните барања за производство на полупроводници, каде што објектите на ниво на нанометар мора да бидат дефинирани со прецизност без димензија и контрола на загадувачи. Флексибилноста што ја нуди капакот SIC е дополнителна вредност. Секоја компонента може да биде дизајнирана за специфични потреби на клиентот во однос на големината, геометријата и завршницата на површината. Ова осигурува дека капакот може лесно да се вклучи и да се интегрира со различни модели на опрема и алатки за процеси.

Прецизноста на машинската обработка наSicКапаците дополнително ја подобруваат вредноста на капаците на SIC. Полупроводничките алатки бараат најголема механичка прецизност како резултат на големите флуктуации во димензионалната компатибилност и површинската униформност, дури и малите варијанти во униформност и дебелина на материјалот можат сериозно да го загрозат конзистентноста на процесот на алатката, протокот и квалитетот на производот. Преку напредни технологии во обработката на материјали, капаците на SIC имаат рамност, површинска униформност и толеранции кои ги надминуваат конвенционалните стандарди на индустријата, нудејќи механичка дебелина на површината на површината, обично, илјадници/илјадници инчи (TIR). Високата рамност овозможува запечатување на механичко вклопување, како и уверување за границите на лабораториско одделение за да се доживеат услови во процесот на производство. Ова е особено очигледно кај големите волумен на обем каде акцентот на повторливост на условите е клучен за перформансите на уредите за полупроводници. Кога продолжувате со прецизно инженерство, тоа зборува директно за да даде оптимизација. When SiC lids are in typical practical use, for example, in epitaxy where the SiC lid sits thermally and chemically stable to get in the reactor, or in an ion implantation system to resist energetic particles ejected from a high power beam of ions hitting the lid, their mechanical configurations and properties maintained their performance under constant bombardment of energetic solids, stable to operating conditions and maintenance were potential suitors Во зошто SIC капаците се предодредени да бидат синоним во производството на полупроводници во цврста состојба.

Semicorex SIC капакот го претставува најдоброто од науката за материјали и инженерството на материјали и нуди најдобри можни перформанси во полупроводна околина, меѓу нивните толеранции на висока температура, хемиска отпорност, идеална чистота, обичајни измислици, прецизна работа за обработка, SIC капакот ќе изврши.