RTP носач за MOCVD епитаксијален раст

Semicorex RTP Носач за MOCVD Epitaxial Growth е идеален за апликации за обработка на полупроводнички нафора, вклучувајќи епитаксијален раст и обработка на обланда. Јаглеродните графитни сусцептори и кварцните садници се обработуваат од MOCVD на површината на графит, керамика итн. Нашите производи имаат добра ценовна предност и покриваат голем дел од европскиот и американскиот пазар. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

Semicorex обезбедува RTP носач за MOCVD Epitaxial Growth кој се користи за поддршка на наполитанки, кој е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење. Во сржта на процесот, епитаксичните сусцептори, најпрво се подложени на околината за таложење, така што има висока отпорност на топлина и корозија. Носачот обложен со SiC, исто така, има висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.
Нашиот RTP носач за MOCVD епитаксијален раст е дизајниран да го постигне најдобриот модел на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.
Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашиот RTP носач за MOCVD Epitaxial Growth.

Параметри на RTP носач за MOCVD Epitaxial Growth

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на RTP Носач за MOCVD Epitaxial Growth

Графит обложен со SiC со висока чистота
Супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност
Фин SiC кристал обложен за мазна површина
Висока издржливост против хемиско чистење
Материјалот е дизајниран така што да не се појавуваат пукнатини и раслојување.