Semicorex RTP носачот е обложен со силициум карбид со користење на процесот на хемиско таложење на пареа (CVD), кој е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење. Во сржта на полупроводничкиот процес, епитаксичните сензори, најпрво се подложени на околината на таложење, така што има висока отпорност на топлина и корозија. Носачот обложен со SiC има и висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.
â Графит обложен со SiC со висока чистота
â Супериорна отпорност на топлина и хемиска отпорност
â Висока топлинска униформност
â Одлична отпорност на абење
Semicorex RTP Носач за MOCVD Epitaxial Growth е идеален за апликации за обработка на нафора со полупроводници, вклучувајќи епитаксијален раст и обработка на обланда. Јаглеродните графитни сусцептори и кварцните садници се обработуваат од MOCVD на површината на графит, керамика итн. Нашите производи имаат добра ценовна предност и покриваат многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање