Керамички делови на полупроводници

Керамички делови на полупроводници припаѓаат на напредна керамика и се неопходен дел од процесот на производство на полупроводници. Суровините за подготовка обично се висока чистота, ултра-фини неоргански материјали, како што се алуминиум оксид, силиконски карбид, алуминиум нитрид, силикон нитрид, yttrium оксид, циркониум оксид, итн.

Алуминиум оксид

Широко се користи, а перформансите на производот варираат според чистотата. 95% чистота е светло жолта, а 99% чистота е Снежана. Има одлична ригидност, јачина, отпорност на абење, отпорност на висока температура и отпорност на корозија и може да се користи за да се подготват повеќето полупроводнички керамички делови, како што се керамички млазници, керамички раце, итн.

Силикон карбид

Црна е, има висока термичка спроводливост, голема јачина и цврстина, мала тежина, добра отпорност на шок и често се користи за подготовка на вакуумски раце и чаши за вакуумско вшмукување.

Алуминиум нитрид

Има висока топлинска спроводливост, термички коефициент на експанзија што одговара на силикон, ниска диелектрична константа и диелектрична загуба и може да се користи за да се направат подлоги за дисипација на топлина, керамички млазници, итн.

Силикон нитрид

Висока точка на топење, ултра-висока цврстина, висока хемиска инертност, низок коефициент на термичка експанзија, висока термичка спроводливост, добра отпорност на термички шок, голема отпорност на влијание и јачина под 1200 ℃, честопати се користи за да се направат керамички подлоги, керамички цевки, итн.

Yttrium оксид

Висока точка на топење, добра хемиска и фотохемиска стабилност, висока термичка спроводливост, добра светлина, честопати комбинирана со алумина за да се направат керамички прозорци.

Циркониум оксид

Висока механичка јачина, отпорност на висока температура, отпорност на киселина и алкали, добра изолација, според различна содржина може да се направи од керамички производи за различни намени, како што се интегрирани подлоги на коло, итн.

Видови на делови:

Керамички делови „сеопфатни“ полупроводници со различни функции се користат во различни видови на опрема за клуч на полупроводници, главно, вклучувајќи го следново:

Полупроводничка керамичка рака

Игра улога во полупроводничка опрема при транспорт на нафора и треба да работи во вакуум чиста околина. Обично се подготвува со алумина со висока чистота или силиконски карбид, алумина е рентабилна и се користи повеќе.

Керамичка подлога

Се применува во различни полиња за електронско пакување, како што се електронски уреди за напојување, ласери, итн., И честопати се подготвува со материјали како што се алумина и силикон нитрид.

Керамичка млазница

Во HDP-CVD, неговиот квалитет влијае на чистотата и стапката на проток на реакциониот гас. Керамиката на алуминиум нитрид е посоодветна за напредна опрема за процеси, како резултат на нивните одлични перформанси.

Керамички прозорец

Тоа е клучна компонента на полупроводничкиот ечер. Може да биде запечатен вакуум без да влијае на пенетрацијата на плазмата. Обично е изработена од алумина со висока чистота и итриум оксид.

Керамичка комора

Тоа е клучна компонента на опремата за таложење на тенок филм, што е клучно за да се обезбеди квалитетот на нафтата и запечатувањето на комората на реакција.

Керамички вакуум Чак

Се користи за позиционирање и стегање на силиконскиот нафта. Тоа е порозна керамика направена од два керамички материјали.

Процес на подготовка:

Процесот на подготовка на керамичките делови за полупроводници „занаетчиство“ е комплициран, главно, вклучувајќи ги следниве чекори:

Подготовка на прав

Суровините треба да се преработат, а суровиот прав што ги исполнува барањата се добива преку серии, механичко мелење на топката, сушење на спреј и други процеси.

Обликување во прав

Суво притискање, изостатско притискање, леење на ленти, обликување на инјектирање, обликување со инјектирање на гел и други методи најчесто се користат за да се направи прав во керамичко зелено тело.

Вид на висока температура

Керамичкото зелено тело се претвора во густо зготвено тело преку нормално тон на притисок, тон на вакуум, тон на атмосфера и други методи.

Прецизна машинска обработка

Синтентираното керамичко варено тело се обработува со CNC струг, меленици, итн. За да се постигне потребната големина и прецизност.

Квалитетна инспекција

Изгледот, големината, порозноста, грубоста и другите својства на керамичките делови се тестираат за да се обезбеди квалитет на производот.

Површински третман

Се чисти површината на производите што го поминуваат квалитетот на инспекцијата, а за посебни потреби е потребно понатамошно постапување со површината, како што се прскање со лак, прскање во плазма, итн.

Semicorex нуди висококвалитетнокерамички деловиво полупроводник. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контактирајте го телефонот # +86-13567891907

Е -пошта: sales@semicorex.com