Керамички грејачи

Во предниот процес (FEOL) на производство на полупроводници,нафораТреба да се подложи на различни третмани со процеси, особено нафтата треба да се загрева на одредена температура и има строги барања, бидејќи униформноста на температурата има многу важно влијание врз приносот на производот; Во исто време, полупроводничката опрема треба да работи во присуство на вакуум, плазма и хемиски гасови, за што е потребна употреба на керамички грејачи.Керамички грејачисе важни компоненти на полупроводничка опрема за таложење на тенок филм. Тие се користат во комората на процесите и директно контактираат со нафтата за да го носат и да му овозможат на нафтата да добие стабилна и униформа температура на процесот и да реагира со голема прецизност на површината на нафтата за да генерира тенки филмови.

Бидејќи опремата за таложење на тенок филм што се користи од керамички грејачи вклучува високи температури, генерално се користат керамички материјали главно засновани на алуминиум нитрид (АЛН). Бидејќи алуминиум нитрид има електрична изолација и одлична топлинска спроводливост; Покрај тоа, неговиот коефициент на термичка експанзија е близу до оној на силикон, и има одлична отпорност на плазма, тој е многу погоден за употреба како компонента на полупроводничка опрема.

Електростатските чакови (ESC) главно се користат во опрема за гравирање, главно алуминиум оксид (AL2O3). Бидејќи самиот електростатски чак содржи и грејач, земајќи суво гравирање како пример, неопходно е да се контролира нафтата на одредена температура во опсег од -70 ℃ ~ 100 ℃ за да се одржи одредена карактеристика на гравирање. Затоа, нафтата треба да се загрева или да се распадне од електростатскиот чак за точно да се контролира температурата на нафтата. Покрај тоа, за да се обезбеди униформност на површината на нафтата, електростатскиот чак честопати треба да ја зголеми зоната за контрола на температурата за да ја контролира температурата на секоја зона за контрола на температурата одделно за да го подобри приносот на процесот. Се разбира, со развојот на технологијата, разликата помеѓу традиционалните керамички грејачи и електростатските чакови започна да се замаглува. Некои керамички грејачи имаат двојни функции на греење со висока температура и електростатска адсорпција.

Керамичкиот грејач вклучува керамичка основа што носи нафта и цилиндрично тело за поддршка што го поддржува на задниот дел. Внатре или на површината на керамичката основа, покрај елементот на отпорност (загревање на слојот) за греење, постои и електрода за радиофреквенција (слој на радиофреквенција). За да се постигне брзо загревање и ладење, дебелината на керамичката основа треба да биде тенка, но премногу тенка, исто така, ќе ја намали ригидноста. Телото за поддршка на грејачот генерално е изработено од материјал со термички коефициент на експанзија сличен на оној на основата, така што телото за поддршка честопати е направено и од алуминиум нитрид. Грејачот усвојува уникатна структура на вратило (вратило) зглоб на дното, што може да ги заштити терминалите и жиците од ефектите на плазмата и корозивните хемиски гасови. Влезот и излезната цевка за гас на топлина е обезбедена во телото за поддршка за да се обезбеди униформа температура на грејачот. Основата и телото за поддршка се хемиски врзани со слој за врзување.

Semicorex нуди висококвалитетноКерамички грејачи. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контактирајте го телефонот # +86-13567891907

Е -пошта: sales@semicorex.com