Воведување на алуминиумски материјал

Алумина керамикаКомпонентите имаат одлични својства како што се висока цврстина, висока механичка јачина, отпорност на супер абење, отпорност на висока температура, висока отпорност и добри перформанси на електрична изолација. Тие можат да ги исполнат сложените барања за изведба на производство на полупроводници во специјални средини како што се вакуум и висока температура. Тие играат незаменлива и важна улога во производството на производство на полупроводници. Нивните апликации ја покриваат скоро целата опрема за производство на полупроводници и се клучни компоненти на опремата за производство на полупроводници. Со континуиран развој на полупроводничката индустрија, важноста на алуминиумските керамички компоненти во индустрискиот ланец ќе стане поизразена.

Како што се намалува големината на карактеристиката на чип, опремата за полупроводници има построги барања на компонентите, а неговата густина, униформност, отпорност на корозија, итн., Се бара да бидат повисоки. Во последниве години, домашните и странските научници развија различни нови процеси за подобрување на условите за топење на алуминиумските керамички материјали, така што тие можат да постигнат брза густина на материјали при пониски температури на топење, како што се само-пропагирачки високо-температура, тресење на блиц, ладно синтерување, ладно синтерување на притисок и осцилирачки под притисок. Меѓу нив, ладното топење е да се додаде минлив растворувач во прав и да се примени голем притисок (350 ~ 500mpa) за подобрување на преуредувањето и дифузијата помеѓу честичките, така што керамичкиот прав може да се засили и да се гуши на пониска температура (120 ~ 300 ℃) и пократко време.

Во моментов, глобалниот процес на производство на интегрирано коло се разви во понапреден процес на 3-нанометарско ниво. Полупроводничкиот опрема и прецизните компоненти на полупроводничка опрема мора постојано да се развиваат и надградуваат и мора да се направат подобрувања во процесите за да се задоволат потребите за производство низводно. Откако ќе се ажурира полупроводничката опрема, специфичните барања за нова опрема за компонентите ќе се променат синхроно. Со развојот на полупроводничка технологија, барањата за перформанси за алуминиумски керамички компоненти стануваат повисоки и повисоки, вклучително и поголема отпорност на абење, отпорност на висока температура и подобра електрична изолација. Трендовите во индустријата имаат тенденција да развијат поголема чистота, пофини структури на алуминиумски материјали во прав и да усвојат напредни технологии за подготовка.

Алумина керамикаимаат многу високи барања за чистота кога се користат во полето на полупроводници, генерално поголеми од 99,5%. Во полето на полупроводници, керамичките делови од алумина се еден од клучните делови на полупроводничката опрема. Повеќето од нив се користат во комори поблиску до нафтата. Во полупроводничката опрема, тие се класифицирани со употреба и главно се поделени на ануларни цилиндри, водичи за проток на воздух, фиксни оптоварени со оптоварување, заптивки со рака, модули, итн.

Во процесот на гравирање, со цел да се намали загадувањето на нафора за време на гравирање на плазма, се избираат облоги со висока чистота или алумина керамика со силна отпорност на корозија како заштитни материјали за комората за гравирање и поставата на комората.

Во процесот на чистење во плазмата, се користат корозивни гасови кои содржат високо реактивни халогени елементи како што се флуор и хлор. Млазницата за гас обично е изработена од алуминиумска керамика, од кои се бара да имаат висока отпорност на плазма, диелектрична јачина и силна отпорност на корозија на процеси на гасови и нуспроизводи. Во исто време, структурата на внатрешната прецизна дупка се користи за прецизно контрола на протокот на гас.

Во процесот на производство на полупроводници, нафтата може да се подложи на третман со висока температура, како што се гравирање, јонска имплантација, итн. Како носител за пренесување на нафта, носачот на нафора на алуминиум може да обезбеди стабилност и безбедност на нафора за време на процесот на пренесување. Носачот на нафора на алуминиум има добра топлинска спроводливост и може ефикасно да ја растера и извезува топлината генерирана од нафтата, а со тоа да го заштити нафтата од термичко оштетување.

Во ракувањето со нафора, ќе се користи керамичка роботска рака направена од алумина керамика. Willе биде инсталиран на робот за ракување со нафора, што е еквивалентно на раката на роботот. Тој е одговорен за носење на нафтата на одредената локација, а нејзината површина е во директен контакт со нафтата. Бидејќи нафорите се екстремно подложни на загадување од други честички, тие обично се вршат во вакуумско опкружување. Во оваа околина, на роботските раце на повеќето материјали генерално им е тешко да ја завршат работата. Материјалите што се користат за да се направат роботските раце треба да бидат отпорни на високи температури, отпорни на абење и да имаат голема цврстина. Поради барањата на работните услови, тие обично се изработени од екстремно висока чистота алумина керамички материјали, а точноста и грубоста на површината на керамичките делови треба да се гарантира.

Semicorex нуди висококвалитетноАлумина керамички деловиво полупроводник, вклучувајќи ги и облоги и так облоги. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт Телефон # +86-13567891907

Е -пошта: sales@semicorex.com