MOCVD е клучната опрема

Опремата MOCVD е клучната опрема во производствениот процес на полупроводничката индустрија, но исто така и голем дел од инвестициите во опремата во синџирот на индустријата за полупроводници (три основни процеси и опрема: литографија, офорт, таложење на тенок филм), инвестиција во производна линија за LED, MOCVD износот на инвестицијата може да изнесува до 50%. Во опремата за CVD, подлогата не може да се постави директно на метал или едноставно да се постави на врвот на основата за епитаксијално таложење, бидејќи вклучува влијание на различни фактори како што се насоката на протокот на гасот (хоризонтална, вертикална), температура, притисок, фиксација. , исфрлање на загадувачи. Затоа, се користи основа и подлогата се поставува на диск, а потоа се врши епитаксијално таложење на врвот на подлогата со помош на CVD технологија. Оваа основа е графит обложен со SiCсусцептор(што може да се нарече и аносител), а неговата структура е прикажана на сликата подолу.