Зошто да изберете графитни сензори обложени со SiC?

Графитен сусцепторе еден од основните делови во опремата MOCVD, е носач и грејач на подлогата од обланда. Неговите својства на термичка стабилност и топлинска униформност играат одлучувачка улога во квалитетот на епитаксијалниот раст на обландата, што директно ја одредува униформноста и чистотата на материјалите од слојот, со што неговиот квалитет директно влијае на подготовката на епитаксијата. Во меѓувреме, со зголемувањето на бројот на употреби и промените во условите за работа, многу лесно се губи, а припаѓа на потрошниот материјал. Одличната топлинска спроводливост и стабилноста на графитот го прават добра предност какоосновна компонента за MOCVD опрема. Меѓутоа, ако се користи само чист графит, тој ќе се соочи со некои проблеми. Во производниот процес ќе има корозивен гас и метални органски остатоци, а графитната основа ќе кородира и ќе го испушти прашокот, што во голема мера го намалува работниот век награфитен сусцептор, а паднатиот графит во прав исто така ќе предизвика загадување на чипот, така што во процесот на подготовка на основата исто така Овие проблеми треба да се решат при подготовката на основата. Технологијата за обложување може да обезбеди фиксација на површинскиот прав, да ја подобри топлинската спроводливост и да ја изедначи топлинската дистрибуција, што станува главна технологија за решавање на овој проблем. Главната технологија е да се реши овој проблем. Според околината на апликацијата и барањата награфитни сензори, површинскиот слој треба да ги има следните карактеристики.

Високи густини и целосно завиткување: графитната основа како целина е во висока температура, корозивна работна средина, површината мора да биде целосно завиткана, додека облогата мора да има добри густини за да игра добра заштитна улога.

Добра плошност на површината: бидејќи графитната основа што се користи за раст на еден кристал бара многу висока површинска плошност, првобитната плошност на основата мора да се одржува откако ќе се подготви облогата, односно површината на облогата мора да биде униформа.

Добра јачина на сврзување: Намалувањето на разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната основа и материјалот за обложување може ефикасно да ја подобри цврстината на поврзување меѓу нив, а облогата не е лесно да се распука по термички циклуси со висока и ниска температура.

Висока топлинска спроводливост: Висококвалитетниот раст на чипот бара брза и униформа топлина од графитната основа, така што материјалот за обложување треба да има висока топлинска спроводливост.

Висока точка на топење, висока температура на оксидација и отпорност на корозија: Облогата треба да може стабилно да работи во високи температури и корозивни работни средини.