Површински третман за висококвалитетен електростатски чак

Наелектростатско чакпрезема повеќе функции како што се еднообразно електростатско празнење, спроводливост на топлина и адсорпција и фиксација на нафора во областа на производството на полупроводници. Една од основните функции на ESC е стабилно да ги адсорбира наполитанките при екстремни работни услови како што се висок вакуум, силна плазма и широк температурен опсег.

Овој тип на облога може да изгради стабилна проводна патека во одредена област и со тоа ефикасно да го избегне проблемот со локалното акумулирање на полнеж со прецизно контролирање на еднообразното празнење на површинските полнежи.

1. Плазма ерозија и контаминација со метални јони

Незаштитените керамички површини се ранливи на плазма ерозија при офорт или CVD процес.

2. Нерамна топлинска спроводливост и деформација на искривување

Грубите површини или лошиот третман резултираат со нерамномерен контакт помеѓу обландата иESC, го попречува спроведувањето на топлина и влијае на униформноста на ЦД.

3. Нестабилна електростатска адсорпција

Овој тип на облога може да изгради стабилна проводна патека во одредена област и со тоа ефикасно да го избегне проблемот со локалното акумулирање на полнеж со прецизно контролирање на еднообразното празнење на површинските полнежи.

Површината на ESC од високата класа често прифаќа композитен дизајн на повеќеслојна структура, прецизно регулирајќи ги функционалните области преку облоги за да се постигне вистинска интеграција со високи перформанси.

Вообичаени технологии за површинска обработка на ESC од високата класа:

1. Флуорополимерни нелепливи облоги (како тефлонски и PFA)

Овој вид облога е особено соодветен за средини со процеси со ниски температури поради неговата ниска без површинска енергија, која ефикасно ја спречува адсорпцијата на остатоците од фоторезист.

2. Јаглеродни облоги слични на дијаманти (DLC).

Со висока цврстина, отпорност на плазма и низок коефициент на триење, тие се погодни за апликации против ерозија и против одвојување честички во опремата за офорт.

3. PVD спроводливи керамички филмови (како CrSiN и TiN)

Овој тип на облога може да изгради стабилна проводна патека во одредена област и со тоа ефикасно да го избегне проблемот со локалното акумулирање на полнеж со прецизно контролирање на еднообразното празнење на површинските полнежи.

4. Композитни термопроводливи премази (како дијамантски прав и флуорополимерна хибридна обвивка)

Овој вид облога ги комбинира нелепливите квалитети со топлинската спроводливост, а неговите вкупни перформанси можат прецизно да одговараат на барањата за примена на високопрецизна термичка контрола ESC.