Заеднички полупроводнички кварцни компоненти и апликации

Кварцот припаѓа на тригоналниот кристален систем, кој е тридимензионален рамковен минерален кристал составен од силициум диоксид. Вообичаено, чистиот кварц е безбоен и транспарентен, но добива различни нијанси како резултат на јони на пигмент во трага, фино дисперзирани подмножества или формирање на центри за боја. Со повеќекратни одлични својства, кварцот е широко применет во различни процеси на производство на полупроводници, а неговите перформанси и квалитет директно влијаат на приносот, перформансите и цената на полупроводничките уреди.

1. Кварцен сад

Накварцни садницисе користат за задржување на поликристалните силиконски суровини во процесот на раст на монокристален силикон на висока температура. За да се обезбедат стабилни материјали за поддршка, кварцните садници треба да се пофалат со одлична стабилност на висока температура (точка на топење >1700℃) и низок коефициент на термичка експанзија за да ги издржат предизвиците на тешките работни услови на висока температура. Кварцните садници за полупроводнички апликации треба да се произведуваат од кварц со висока чистота од степен 4N8 или повисок. Овој мудар избор на материјали може ефективно да ги намали ризиците од контаминација на кристали предизвикани од врнежите од нечистотија од кварцниот сад поради високата температура.

Цевките од кварцните печки обично служат како комори за реакција на висока температура за различни процеси на производство на нафора како што се дифузија, оксидација и хемиско таложење на пареа (CVD). Значицевки за кварцна печкатреба да имаат одлична отпорност на висока температура за да се спречи нивното деформирање или омекнување предизвикано од средини со висока температура. Во некои процеси, дури е потребен третман со дехидроксилација за да се намали влијанието на хидроксилните групи врз термичката стабилност. Производството на цевки од кварцни печки, исто така, бара кварцен материјал со висока чистота со содржина на метална нечистотија ≤1 ppm за да се спречи таложење на нечистотии за време на процесот на реакција и да влијае на резултатите од обработката на нафора.

Кварцните чамци обично се користат заедно со цевки од кварцни печки за носење и транспортирање на десетици до стотици наполитанки. Затоа,кварцни чамциобично треба да ја поседуваат истата одлична отпорност на висока температура, отпорност на корозија и стабилни, сигурни перформанси во однос на механичката сила како цевките од кварцните печки.

Кварцни фокусни прстенисе специјално дизајнирани за процеси на суво офорт. Тие обично се инсталираат околу наполитанки за да ја ограничат и хомогенизираат плазмата, ефикасно обезбедувајќи униформност на брзината на офорт и обликувањето на обландата. Оваа работна средина бара кварцните прстени за фокусирање да поседуваат силна отпорност на корозија на плазмата, екстремно висока димензионална прецизност и мазна завршна површина за да се спречат абнормални празнења или создавање честички.