За дефекти на SiC кристали - Micropipe

Подлогата на SiC може да има микроскопски дефекти, како што се дислокација на завртката со навој (TSD), дислокација на рабовите на навојот (TED), дислокација на основната рамнина (BPD) и други. Овие дефекти се предизвикани од отстапувања во распоредот на атомите на атомско ниво. SiC кристалите може да имаат и макроскопски дислокации, како што се инклузии на Si или C, микроцевки, хексагонални празнини, полиморфи итн. Овие дислокации се типично големи по големина.

Едно од главните проблеми во производството на уреди со SiC се тродимензионалните микроструктури познати како „микроцевки“ или „дупки“, кои се вообичаено со големина од 30-40 и 0,1-5 ум, соодветно. Овие микроцевки имаат густина од 10-10³/cm² и можат да навлезат во епитаксијалниот слој, што резултира со дефекти на уредот. Тие првенствено се предизвикани од групирање на спиро дислокации и се сметаат за примарна пречка во развојот на уредите SiC.

Дефектите на микротубулите на подлогата се извор на други дефекти кои се формираат во епитаксијалниот слој за време на процесот на растење, како што се празнини, инклузии на различни полиморфи, близнаци итн. Затоа, најважното нешто што треба да се направи за време на процесот на раст на материјалот на подлогата за високонапонски и високо-моќни SiC уреди е да се намали формирањето на дефекти на микротубулите во најголемиот дел од кристалите на SiC и да се спречи нивното навлегување во епитаксијалниот слој.

Микроцевката може да се гледа како мали јами, а со оптимизирање на условите на процесот можеме да ги „пополниме јамите“ за да ја намалиме густината на микроцевката. Неколку студии во литературата и експерименталните податоци покажаа дека испарувачката епитаксија, растот на CVD и епитаксијата во течна фаза може да ја пополнат микроцевката и да го намалат формирањето на микроцевки и дислокации.

Semicorex ја користи техниката MOCVD за да создаде SiC облоги кои ефикасно ја намалуваат густината на микроцевките, што резултира со производи со врвен квалитет. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com