SiC епитаксија

Постојат два вида епитаксија: хомогена и хетерогена. За да се произведат уреди со SiC со специфичен отпор и други параметри за различни примени, подлогата мора да ги исполнува условите на епитаксијата пред да започне производството. Квалитетот на епитаксијата влијае на перформансите на уредот.

Во моментов постојат два главни епитаксијални методи. Првата е хомогена епитаксија, каде што SiC филм се одгледува на спроводлива подлога на SiC. Ова првенствено се користи за MOSFET, IGBT и други високонапонски полиња за полупроводници. Вториот е хетероепитаксијален раст, каде што филмот GaN се одгледува на полуизолациона SiC подлога. Ова се користи за GaN HEMT и други полупроводници со низок и среден напон, како и за радиофреквентни и оптоелектронски уреди.

Епитаксијалните процеси вклучуваат сублимација или физички транспорт на пареа (PVT), епитаксија со молекуларен зрак (MBE), епитаксија во течна фаза (LPE) и хемиска пареа фаза епитаксија (CVD). Главниот метод на SiC хомогена епитаксијално производство користи H2 како носител гас, со силин (SiH4) и пропан (C3H8) како извор на Si и C. Молекулите на SiC се произведуваат преку хемиска реакција во комората за таложење и се депонираат на подлогата SiC .

Клучните параметри на епитаксијата на SiC вклучуваат дебелина и униформност на концентрацијата на допинг. Како што се зголемува напонот на сценариото за примена на уредот низводно, дебелината на епитаксијалниот слој постепено се зголемува и концентрацијата на допинг се намалува.

Еден ограничувачки фактор во изградбата на капацитетот на SiC е епитаксијалната опрема. Опремата за епитаксијален раст моментално е монополизирана од италијанската LPE, германската AIXTRON и јапонските Nuflare и TEL. Циклусот на доставување на мејнстрим SiC епитаксиална опрема со висока температура е продолжен на околу 1,5-2 години.

Semicorex обезбедува SiC делови за полупроводничка опрема, како што се LPE, Aixtron итн. Доколку имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com