Што се конзолни лопатки?

За време на обработката на обландите со полупроводници, се користат специјализирани печки за загревање на наполитанките. Овие печки содржат издолжени цилиндрични цевки каде што наполитанките се поставуваат на чамци со нафора на предодредени и подеднакво оддалечени позиции. За да се осигура дека опремата за обработка не ги троши наполитанките и да ги издржи условите за обработка во комората, чамците со нафора и другите уреди што се користат во обработката на нафора се направени од материјали како силициум карбид (SiC).

Чамците со нафора, натоварени со серија нафора што треба да се обработи, се поставени на долги конзолни лопатки. Овие лопатки може да се вметнат и извадат од цевчестите печки и реакторите. Веслате се состојат од срамнет дел за носач кој може да собере еден или повеќе чамци и долга рачка лоцирана на едниот крај од срамнетиот дел од носачот за лесно ракување.

За најдобри компоненти во полупроводничка обработка, се препорачува да се користи лопатка со конзола направена од рекристализиран силициум карбид со тенок слој CVD SiC. Овој материјал е со висока чистота и е најдобар избор за такви компоненти.

Semicorex произведува прилагодени конзолни лопатки со висококвалитетен CVD SiC слој. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com