Тантал карбид облоги во полупроводничка индустрија

Развојот на сини и УВ LED диоди со голема моќност овозможи создавање на LED телевизиски дисплеи со целосна боја, како и бело LED осветлување за автомобили и дома. Овие LED диоди се засноваат на галиум нитрид, кој се депонира на наполитанки на подлогата поддржани од графитниот сензор со CVD SiC обложен со помош на процесот MOCVD. Сепак, облогата SiC е нападната од амонијакот што се користи во процесот, со што се намалува неговиот животен век. За да се подобри животниот век на облогата и да се намалат вкупните трошоци, индустријата има потреба од нова, поинертна опција за обложување. Тантал карбидот се разгледува како замена, бидејќи може во голема мера да ја зголеми отпорноста на оваа агресивна атмосфера и да обезбеди решение кое моментално не е достапно. Semicorex продава графитни делови обложени со CVD TaC на добавувачи во индустријата за полупроводници.

Нашите графитни производи обложени со TaC се познати по нивната супериорна отпорност на топлина во споредба со производите од графит обложени со SiC. Како резултат на тоа, тие популарно се користат во полупроводничка обработка, како што е епитаксијалниот процес на SiC обландите, кои се користат на повисоки температури. Побарувачката за нашите производи се зголемува во согласност со растот на пазарот.

Semicorex нуди висококвалитетни графитни делови обложени TaC со приспособена услуга. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com