Што е SiC брод и кои се неговите различни производни процеси?

1. Различните производни процеси наБрод SiC

(1) Премачкување слој одSiC филмна површината на графитоткристални чамципреку CVD

Овој тип на чамци има графитно јадро, кое се обработува во едно парче. Сепак,графитот е порозени склони кон создавање на честички, поради што е потребна примена на aSiC филм слојна неговата површина. Поради неусогласеноста на коефициентот на топлинска експанзија (CTE) помеѓу графитното тело иSiC филм, облогата најверојатно ќе се олупи по повеќе циклуси на загревање и ладење, што ќе доведе до контаминација со честички. Овие чамци се најмалку скапи и имаат животен век од околу една година.

(2) Премачкување слој одSiC филмна прекристализиранSiC кристални чамци

РекристализиранSiC чамцисе исто така порозни и лесно можат да генерираат честички. Затоа, поединечните компоненти на прекристализиранSiC чамцимора да биде претходно формиран, синтеруван, а потоа посебно обработен. Потоа, компонентите се врзуваат заедно на високи температури користејќи паста Si. Откако ќе се соберат во еден брод, аSiC филмсе применува преку CVD. Ова се прекристализирашеБрод SiCима најдолг производствен процес и е скап, но површинатаCVD облогаможе да се оштети и со животен век од околу три години.

(3)МонолитенSiC кристални чамци

Овиечамцисе целосно составени од SiC материјал. SiC прав мора да се обликува и синтерува во форма на монолитен брод. Исклучително скапи, тие се многу издржливи и со помала веројатност да генерираат честички. Сепак, овие чамци содржат 10-15% слободен силициум, кој е подложен на ерозија од флуор и хлор, што доведува до контаминација со честички.

2. Зошто не се препорачува хемиско чистење?

Сумирано, заSiC чамциобложена со аSiC филм преку CVD, површинскиот слој е склон на лупење при хемиско чистење, што предизвикува контаминација со честички. За монолитенSiC чамцикои содржат мала количина слободен силициум, изложеноста на гасови кои содржат флуор или хлор може да доведе до ерозија и создавање честички, а со тоа да предизвика контаминација.**