Сечење на SiC

Силициум карбид (SiC)е многу фаворизирана во индустријата за полупроводници поради одличните физички и хемиски својства. Сепак, високата цврстина и кршливост наSiCпретставуваат значителни предизвици за неговата обработка.

Најчесто се користи дијамантска жица за сечењеSiCметод на сечење и е погоден за подготовка на SiC наполитанки со големи димензии.

Предност:

Висока ефикасност: Со својата брза брзина на сечење, технологијата за сечење на дијамантска жица стана префериран метод за масовно производство на големи SiC наполитанки, што значително ја подобрува ефикасноста на производството.

Ниско термичко оштетување: Во споредба со традиционалните методи на сечење, сечењето со дијамантска жица генерира помалку топлина за време на работата, ефикасно намалувајќи го термичкото оштетување на кристалите на SiC и одржувајќи го интегритетот на материјалот.

Добар квалитет на површината: Грубоста на површината на нафората SiC добиена по сечењето е мала, што обезбедува добра основа за последователни процеси на мелење и полирање и помага да се постигне поквалитетна површинска обработка.

недостаток:

Висока цена на опремата: Опремата за сечење дијамантска жица бара висока почетна инвестиција, а трошоците за одржување се исто така високи, што може да ги зголеми вкупните трошоци за производство.

Губење на жица: дијамантската жица ќе се истроши за време на континуираниот процес на сечење и треба редовно да се заменува, што не само што ги зголемува трошоците за материјалот, туку и го зголемува обемот на одржување.

Ограничена прецизност на сечењето: Иако сечењето со дијамантска жица е добро при редовни апликации, неговата прецизност на сечењето можеби нема да ги исполни построгите барања каде што треба да се обработат сложени форми или микроструктури.

И покрај некои предизвици, технологијата за сечење дијамантски жица останува моќна алатка во производството на нафора со SiC. Како што технологијата продолжува да напредува и се подобрува економичноста, се очекува овој метод да игра поголема улога воSiC нафораобработка во иднина.