Технологија за демистифицирање на електростатско чак (ESC) при ракување со нафора

1. Што е ESC?

ESC користи електростатички сили за безбедно држење на наполитанки или подлоги во вакуумската средина на опремата за обработка. Овој метод го елиминира потенцијалот за оштетување поврзано со традиционалните методи на механичко стегање, што може да изгребе деликатни површини или да предизвика фрактури на стрес. За разлика од вакуумските млазници, ESC не се потпираат на диференцијали на притисок, што овозможува поголема контрола и флексибилност при ракување со обланда.

2. Три принципи на електростатско адхезија

Привлечната сила генерирана од ESC обично произлегува од комбинација од три електростатички принципи: Кулонова сила, Џонсон-Рахбекова сила и сила на градиент. Иако овие сили можат да дејствуваат поединечно, тие често работат синергистички за да создадат сигурно задржување.

Кулонова сила:Оваа основна електростатска сила произлегува од интеракцијата помеѓу наелектризираните честички. Во ESC, применетиот напон на електродите на чак генерира електрично поле, предизвикувајќи спротивни полнежи на обландата и површината на чашката. Добиената Кулонова атракција цврсто ја држи нафората на место.

Силата Џонсон-Рахбек:Кога постои минута јаз помеѓу површината на нафора и чак, силата Џонсон-Рахбек влегува во игра. Оваа сила, во зависност од применетиот напон и растојанието на јазот, произлегува од интеракцијата на спроводливите честички во овие микро-празнини со наелектризираните површини. Оваа интеракција генерира привлечна сила која ја влече нафората во интимен контакт со чак.

Градиентна сила:Во нерамномерно електрично поле, предметите доживуваат нето сила во насока на зголемување на јачината на полето. Овој принцип, познат како градиентна сила, може да се искористи во ESC со стратешко дизајнирање на геометријата на електродата за да се создаде нерамномерна дистрибуција на полето. Оваа сила ја влече обландата кон регионот со највисок интензитет на полето, обезбедувајќи сигурно и прецизно позиционирање.

3. Структура на ESC

Типичен ESC се состои од четири клучни компоненти:

Диск:Дискот служи како примарна контактна површина за обландата, прецизно обработена за да се обезбеди рамен, мазен интерфејс за оптимална адхезија.

Електрода:Овие спроводливи елементи ги генерираат електростатските сили неопходни за привлекување на нафора. Со примена на контролиран напон, електродите создаваат електрично поле кое комуницира со нафората.

Грејач:Интегрираните грејачи во ESC обезбедуваат прецизна контрола на температурата, клучен аспект во многу чекори за обработка на полупроводници. Ова овозможува прецизно термичко управување со нафората за време на обработката.

Основна плоча:Основната плоча обезбедува структурна поддршка за целото склопување ESC, обезбедувајќи правилно усогласување и стабилност на сите компоненти.**