Кварц со висока чистота: неопходен материјал за полупроводничката индустрија

Кварцот со висока чистота поседува извонредни физички и хемиски својства. Неговата вродена кристална структура, форма и варијации на решетка придонесуваат за исклучителни карактеристики како што се отпорност на висока температура, отпорност на корозија, отпорност на триење, низок коефициент на термичка експанзија, висока изолација, пиезоелектрични ефекти, резонантни ефекти и уникатни оптички својства. Овие атрибути го прават незаменлив основен материјал за развој на стратешките и стожерните индустрии.

Примената на кварцот со висока чистота опфаќа различни полиња, вклучувајќи полупроводници, фотоволтаици, оптички влакна и електрични извори на светлина. Меѓу нив, индустријата за полупроводници има најголем удел, со значајни 50% од нејзината употреба.

Во срцето на производството на полупроводници лежи производството на чипови, што го претставува сегментот со најголема додадена вредност во индустријата. Производството на чипови првенствено се состои од четири фази: раст на еден кристал, обработка и изработка на нафора, производство на интегрирано коло (IC) и пакување. Најкритичните, сложените и најсложените фази, особено во однос на барањата за материјали, се производството на силиконски нафора и обработката на нафора.

Кварцните материјали со висока чистота, со нивната исклучителна термичка стабилност, отпорност на киселина, мала термичка експанзија и одлична спектрална пропустливост, совршено одговараат на строгите барања на полупроводничката индустрија во однос на содржината на алкалните метали и тешките метали во материјалите за носење. Процесот на производство бара значителен обем на висококвалитетни кварцни компоненти, вклучувајќи наполитанки, прстени, плочи, прирабници, гравирани чамци, цевки за дифузни печки и резервоари за чистење.

Кварц со висока чистота се користи во различни фази на подготовка на полупроводници

Примена во производство на силиконски нафора

Примарната примена на кварцното стакло вопроизводство на силиконски нафоралежи во производството накварцни садници, суштински за процесот Czochralski (CZ) кој се користи за одгледување на еднокристални силиконски инготи за производство на нафора. Дополнително, се користат и контејнери за чистење со кварц.

Семикорекс Споен кварцен сад

Примена во обработка на нафора

За време на обработката на нафора, различни третмани какооксидација, епитаксија, литографија, офорт, дифузија, хемиско таложење на пареа (CVD), имплантација на јони и полирање се изведуваат на силиконски наполитанки. Кварцното стакло со висока чистота, поради неговата чистота, отпорност на висока температура, мала термичка експанзија и отпорност на корозија, игра клучна улога во овие процеси.

1)Дифузија и оксидација: Цевки за дифузија на кварцно стаклоинтензивно се користат во овие процеси, заедно со придружните кварцни прирабници. Други клучни компоненти вклучуваатцевки за кварцна печка(за транспорткварцни чамциво и надвор од печката), кварцни чамци (за носење силиконски наполитанки) и кварцни полици за чамци. Меѓу овие,цевки за дифузија на кварцно стаклосе најважни, со нивната чистота, отпорност на деформации на висока температура и прецизна геометрија директно влијаат на квалитетот, цената и ефикасноста на производството.

Кварцни чамции решетките служат како незаменливи носачи за силиконските наполитанки за време на процесите на дифузија, оксидација, CVD и жарење. Овие компоненти доаѓаат во различни спецификации и големини, обично достапни во хоризонтални и вертикални конфигурации. Директниот контакт со силиконски наполитанки на високи температури бара употреба на кварцно стакло со висока чистота со одлична термичка стабилност и прецизност на димензиите за овие компоненти.

Семикорекс кварцни компоненти за дифузна печка

2)Офорт и чистење:Процесот на офорт бара материјали и компоненти од кварцно стакло отпорни на корозија, што доведува до значителна побарувачка за кварцни прстени, комори за реакција на кварцно стакло и потпори за нафора. Дополнително, фазите на чистење со киселина и ултразвучно чистење користат корпи од кварцно стакло и резервоари за чистење, соодветно, капитализирајќи ја исклучителната хемиска стабилност на материјалот. Теглите со кварцни ѕвона се користат и за време на епитаксијалниот раст на силициумот.

3)Фотолитографија:Кварцното стакло со висока чистота служи како примарен материјал за подлогата за фотомаски, клучни компоненти во процесот на фотолитографија. Трошоците за набавка на овие супстрати сочинуваат значителни 90% од вкупните трошоци за суровини за фотомаски, како што е наведено од податоците од проспектот на Qingyi Photomask. Како високопрецизни алатки за пренос на обрасци на кола за време на производството на LCD екрани, полупроводници и други електронски уреди, фотомаските директно влијаат на прецизноста и квалитетот на финалниот производ. Ова бара употреба на инготи од синтетичко кварцно стакло со ултра висока чистота како основен материјал за подлогите за фотомаски.

Како заклучок, уникатната комбинација на својства што ги покажува кварцот со висока чистота ја зацементира неговата позиција како неопходен материјал во индустријата за полупроводници. Како што напредува технологијата и се зголемуваат барањата за минијатуризација и перформанси, зависноста од висококвалитетни кварцни материјали се очекува само да расте, што дополнително ќе ја зацврсти нејзината клучна улога во обликувањето на иднината на електрониката.**

Семикорекс, како искусен производител и добавувач, обезбедува кварцни материјали со висока чистота за полупроводничка и фотоволтаична индустрија. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com