Разлики помеѓу вакуум чакови и електростатски чакови

Како незаменливи основни врски во производството на полупроводници, стабилноста и прецизноста на технологијата за држење нафора директно влијаат на ефикасноста на производството на чипови и квалитетот на готовиот уред. Вакуумските и електростатичките дупчиња се двете мејнстрим решенија за држење на нафора за производство на полупроводници. Иако и двете припаѓаат на нафора, тие многу се разликуваат во структурата, карактеристиките на изведбата и применливите сценарија.

1. Различни работни принципи

Вакуум чашипотпирајте се на негативниот притисок за да ги држите наполитанките на место. Воздухот се извлекува преку цевководи поврзани со вакуумска пумпа, формирајќи негативен притисок под обландата за цврсто прицврстување на наполитанки или подлоги на површината на чак. Основата на Чак е прецизно обработена од керамика или метал, а нејзината површина за адсорпција се состои од порозна керамичка плоча вградена во дупчалка на основата, со нејзината периферија врзана и запечатена на основата.  Поврзан со вакуумска пумпа преку внатрешни микропорозни канали на керамичката плоча, чак генерира вакуумска зона далеку под атмосферскиот притисок, со што цврсто се зацврстува нафората.

Електростатските пукања прифаќаат структура на јадрото со електроди вградени во метална основа, покриена со керамички диелектричен слој со високи перформанси. Тие генерираат електростатско поле на нивната површина за да предизвикаат електрични полнежи на работните парчиња, создавајќи електростатска привлечност за стегање на наполитанки или подлоги. Кога се применува напон, се формира силно електростатско поле помеѓу електродите, керамичкиот диелектрик инафора, обезбедувајќи сила на задржување од неколку илјади до десетици илјади Паскали за стабилна фиксација на нафора.

2. Различни предности во изведбата

Вакуумските чаши се компатибилни со наполитанки со различни димензии и различни процеси на работа, обезбедувајќи стабилна фиксација на наполитанките за време на обработката. Во споредба со електростатските чак, тие се карактеризираат со ниски трошоци за производство и одржување поради нивните релативно едноставни внатрешни структури.

Меѓутоа, кога наполитанките се подложени на процеси за кои е потребна работа во вакуум или средина со низок притисок, како што е хемиско таложење на пареа, вакуумските пукања кои се потпираат на разликите во притисокот не можат да ги задоволат барањата на процесот. Понатаму, кога наполитанките се држат на место со вакуумски дупчиња, воздушниот притисок може да предизвика деформација на обландата, што резултира со враќање по обработката. Ова може да резултира со брановидна површина, слаба плошност и намалена прецизност на обработката на обработената обланда.

Електростатски чашиусвои бесконтактна адсорпција, нудејќи конзистентна, рамномерно распоредена сила на стегање. Ова ефикасно спречува искривување, изобличување и оштетување на обландата, зачувувајќи одлична плошност за поголема прецизност на обработката. Опремени со хелиумско ладење на задната страна за рамномерна распределба на температурата, електростатските чаши поддржуваат прецизна регулација на температурата на обландата.

Негативно, електростатските чакови имаат сложени структури со исклучително строги стандарди за површинска плошност, мазност и микроструктури во размер. Прецизноста на микрониво за микро карактеристики создава високи технички бариери во формулацијата на суровините, синтерувањето и завршната површина. Контролата на температурата останува основен технички предизвик; алуминиум нитрид (AlN) диелектрични ESC за подобрена дисипација на топлина вклучуваат уште покомплицирани производни процеси. Строгите повеќедимензионални технички барања ја зголемуваат цената на производот, а редовната проверка и одржувањето на електростатските системи се задолжителни за да се гарантира стабилна работа.

3. Различни главни полиња за апликација

Со голема плошност, супериорен паралелизам, густа униформа текстура, висока механичка цврстина, рамномерна воздушна пропустливост и лесно реконструирање, вакуумските чашки се користат за фиксирање и транспорт на рамни, добро запечатени работни парчиња, како што се метални листови и пластични подлоги. Во рамките на производството на полупроводници, тие служат за разредување, сечење на коцки, мелење, чистење и други процеси на обработка на обланди, ефикасно решавајќи ги заедничките проблеми, вклучувајќи вдлабнатини на обланди, електростатско распаѓање на чиповите и контаминација со честички.

Дизајнирани за рамни, непроводливи работни парчиња, електростатските чак се ултра чисти носачи на обланди наменети за вакуум и плазма средини. Тие се широко распространети во процесите на плазма и вакуум полупроводници, вклучувајќи суво офорт, PECVD, термички CVD, физичко таложење на пареа (PVD), имплантација на јони и екстремна ултравиолетова литографија (EUVL).