Тегла со кварцно ѕвонче од 15 инчи

Semicorex 15" кварцното тегла е дизајнирано да одговори на овие предизвици, обезбедувајќи решение со високи перформанси за сериска обработка од среден до голем размер, каде што топлинската униформност и чистотата на материјалот се неопходни за максимизирање на приносот. чистата, стабилната и хемиски инертната средина станува без преговарање.

1. Наука за материјали: Чистотата на сплотена силика

Основата на нашата тегла е со висока чистотасплотена силициум диоксид (кварц). За разлика од стандардното стакло, кварцот е речиси целосно составен од SiO2, обезбедувајќи уникатни својства кои се од витално значење за производство на полупроводници:

Ултра ниска контаминација: Нашиот кварц се обработува за да ги минимизира металните елементи во трагови (како што се Al, Fe, Na и K) на ниво на делови на милијарда (ppb). Ова ја спречува дифузијата на нечистотиите во нафората за време на циклуси на висока температура, обезбедувајќи го електричниот интегритет на уредите.

Супериорна отпорност на термички удар: Кварцот поседува скоро нула коефициент на термичка експанзија (CTE). Ова му овозможува на кварцното тегла ѕвонче од 15 инчи да издржи брзо зголемување на температурата и гаснење без ризик од фрактура или структурен замор - критичен услов за реакторите со висока пропусност.

Одлична хемиска инертност: Кварцот е високо отпорен на повеќето киселини (со исклучок на флуороводородна киселина) и на корозивни процесни гасови, осигурувајќи дека комората не се распаѓа или испушта гас за време на агресивните циклуси на офорт или таложење.

2. Прецизно инженерство и оптичка јасност

Теглата со кварцно ѕвонче од 15" обезбедува максимален волумен и оптимална динамика на проток на гас за целите на сериска обработка на нафора. Теглата има вертикален оџак (исто така познат како врат) кој е оптимално дизајниран да обезбеди влез за гас или да помогне при извлекување на гас преку вакуум од теглата, што е прикажано на сликата погоре.

Оптичка транспарентност - Високото ниво на пренос накварцен материјалда се емитуваат бранови должини во ултравиолетовите, видливите и инфрацрвените региони на спектарот овозможува обработка во реално време, како и употреба на надворешни грејачи на светилки за брза термичка обработка (RTP).

Засилени површини за запечатување - Вратот на теглата има специјално развиена непроѕирна бела заптивка (наведена и како заземјување) која обезбедува херметичка (запечатена со воздух) и вакуумски интерфејс помеѓу основната плоча на реакторот и теглата.

Греење за ослободување од стрес - Сите кварцни тегли со ѕвонче од 15 инчи се подложени на ригорозен процес на термичко жарење за да се ослободи од внатрешниот механички стрес што бил поставен на теглата со механичкиот процес на дување или обликување на теглата, со што значително се намалува можноста теглата спонтано да пропадне кога ќе се стави под вакуум.

3. Критични апликации во полупроводничките фаб

Нашата 15" кварцна тегла е специјално дизајнирана за интеграција во следните процеси со висока вредност:

Силициумска епитаксија: Обезбедување транспарентен, нереактивен сад за одгледување висококвалитетни еднокристални силиконски слоеви.

CVD зајакната со плазма (PECVD): Издржува корозивна плазма средина додека одржува висока диелектрична сила.

Дифузија и оксидација: Служи како чиста, високо-топлинска комора за формирање на оксиди на портата и допантирање.

Производство на преформи со оптички влакна: Идеален за таложење на силика слоеви со висока чистота во производството на специјално стакло.

Во Semicorex, ние се справуваме со секоја тегла со ѕвонче како парче прецизна лабораториска опрема. Нашиот процес вклучува: Строго набавка на материјали со проверена електронска класакварцинготи; напредна изработка која ги спојува традиционалните вештини за дување стакло со мелење и полирање контролирано со CNC; и темелна проверка со помош на поларизирана светлина за откривање на преостанат стрес и ласерска интерферометрија за прецизни проверки на димензиите.