Al2O3 вакуум чак

Апликации во производството на полупроводници

Semicorex Al2O3 Vacuum Chuck е разноврсна алатка која се користи во повеќе фази на производство на полупроводници:

Разредување: За време на процесот на разредување на нафора, вакуумскиот чак Al2O3 обезбедува стабилна и униформа поддршка, обезбедувајќи намалување на подлогата со висока прецизност. Ова е клучно за подобрување на дисипацијата на топлината на чипот и подобрување на перформансите на уредот.

Сечење коцки: Во фазата на сечење коцки, каде што обландите се сечат на поединечни чипови, вакуумскиот чак Al2O3 нуди сигурна и стабилна адсорпција, минимизирајќи го ризикот од оштетување и обезбедувајќи чисти парчиња.

Чистење: Мазната и рамномерна површина на адсорпција на вакуум чакот Al2O3 го прави погоден за процесите на чистење на нафора, осигурувајќи дека загадувачите ефикасно се отстрануваат без да се оштетат наполитанките.

Транспорт: При ракување и транспортирање на нафора, вакуум чакот Al2O3 обезбедува сигурна и сигурна поддршка, намалувајќи го ризикот од оштетување и контаминација.

Semicorex ВакуумЧак Флоу

Предности на Semicorex Al2O3 вакуум чак

1. Униформа микро-порозна керамичка технологија

Вакуум чакот Al2O3 е конструиран со помош на микро-порозна керамичка технологија, која вклучува употреба на нано-прав со еднаква големина. Оваа технологија гарантира дека порите се рамномерно распоредени и меѓусебно поврзани, што резултира со висока порозност и рамномерно густа структура. Оваа униформност ги подобрува перформансите на вакум чакот, обезбедувајќи доследна и сигурна поддршка за нафора.

2. Исклучителни својства на материјалот

Ултра чистата 99,99% Алумина (Al2O3) што се користи во вакуумскиот чак Al2O3 нуди низа исклучителни својства:

Термички својства: Со висока отпорност на топлина и одлична топлинска спроводливост, вакуумскиот чак Al2O3 може да ги издржи високите температури кои вообичаено се среќаваат во производството на полупроводници.

Механички својства: Високата јачина и цврстина на Алумина гарантираат дека вакуумскиот чак Al2O3 е издржлив и отпорен на абење и кинење, обезбедувајќи долготрајни перформанси.

Други својства: Алумина, исто така, нуди висока електрична изолација и отпорност на корозија, што го прави вакуумскиот чак Al2O3 погоден за широк опсег на производствени средини.

3. Супериорна плошност и паралелизам

Една од клучните предности на вакуумскиот чак Al2O3 е неговата висока плошност и паралелизам. Овие својства се клучни за да се обезбеди прецизно и стабилно ракување со нафора, минимизирање на ризикот од оштетување и обезбедување конзистентни резултати од обработката. Дополнително, добрата воздушна пропустливост и униформната сила на адсорпција на вакуумскиот чак Al2O3 обезбедуваат непречено и сигурно работење.

4. Опции за приспособување

Во Semicorex, разбираме дека секој процес на производство на полупроводници има уникатни барања. Затоа нудиме приспособени вакуум чакови приспособени да ги задоволат вашите специфични потреби. Во зависност од потребната плошност и трошоците за производство, препорачуваме различни основни материјали, осигурувајќи дека тежината и перформансите на вакуумската чак се оптимизирани за вашата апликација. Овие материјали вклучуваат нерѓосувачки челик SUS430, алуминиумска легура 6061, густа керамика од Алумина (боја од слонова коска), гранит и густа керамика од силициум карбид.

Al2O3 вакуум чак CMM мерење